XPS（X射線光電子能譜分析）分析方法包括：
1、元素的定性分析，可以根據能譜圖中出現的特征譜線的位置鑒定除H、He以外的所有元素。
2、元素的定量分析，根據能譜圖中光電子譜線強度（光電子峰的面積）反應原子的含量或相對濃度。
3、固體表面分析，包括表面的化學組成或元素組成，原子價態，表面能態分布，測定表面電子的電子云分布和能級結構等。
XPS的原理是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。以光電子的動能/束縛能為橫坐標，相對強度（脈沖/s）為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得試樣有關信息。