上海微系統所等晶圓級高精度瞬態生物光刻研究獲進展

　　近日，中國科學院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室陶虎課題組，聯合復旦大學附屬華山醫院神經外科、江蘇科技大學蠶業研究所等研究機構的科研人員，開發出對紫外光敏感且分子量均一的蠶絲蛋白輕鏈溶液，并基于該溶液，結合傳統紫外光刻工藝，實現了晶圓級高精度綠色瞬態生物光刻。相關成果以Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatterning Using Silk Fibroin Light Chain as the Resist為題發表在Advanced Science上。

　　蠶絲蛋白源自于天然蠶繭，是一種力學性能優異、生物兼容性良好的天然生物材料，被廣泛應用于細胞培養、組織工程等生物高新領域。陶虎課題組首創地將絲素蛋白輕鏈從蠶絲蛋白中分離，并通過化學修飾使其對紫外光敏感，解決長久以來生物蛋白材料（天然材料分子量分布不均）作為微納加工材料可靠性和重復性不高的問題，達到硅片級大規模高精度綠色生物光刻，可實現瞬態生物材料的圖案化和可控溶解，成功實現針對人胎腦神經干細胞進行高精度可定制圖形化分離培養。

　　該項工作得到中組部“青年千人”、科技部重點研發計劃、國家自然科學基金委、上海市科委國際合作項目等的資助。