光刻機減振器突破者陳學東院士透露“成功秘訣”

“正是有了無數個一絲不茍的攻關，才促成了我國首臺IC光刻機的問世。”5月10日，華中科技大學（以下簡稱華科大）“科學家精神進校園”系列活動新聞發布會上，中國工程院院士、華科大教授陳學東在回答《中國科學報》提問時表示，科學研究往往沒有捷徑可走，重大科學技術突破靠的是對“敢為人先、勇攀高峰、一絲不茍、精益求精”等科學家精神的長期堅持。

陳學東院士回答《中國科學報》提問。華科大供圖

據悉，光刻機是芯片制造流程中光刻工藝的核心設備，堪稱半導體制造業皇冠上的明珠，我國在該領域長期落后，一度被“卡脖子”。由于無法突破技術瓶頸，我國減振器長期依賴進口。為了打破這一技術壟斷，2002年起，長期從事機械動力學設計與控制研究的陳學東，開始研發國產減振器。他22年如一日，終于攻克光刻機減振器研發瓶頸，為我國重大裝備制造的自主可控作出重要貢獻。

“能否結合光刻機減振器研發經歷，談一談科學研究要想取得重大突破，需要秉持哪些精神？”面對《中國科學報》的現場提問，陳學東坦言，不管是前沿科學研究還是實際工程攻關，都需要始終堅持追求真理、嚴謹治學的求實精神。

“記得2007年我們在做90納米IC光刻機樣機調試時，偶爾會碰到工作臺出現一種異常的小幅振動現象，以往經驗和所謂的‘常識’沒法解釋。如果不搞清楚原因，不解決這種偶發瑕疵，就可能對曝光成像的良率造成影響。”他介紹，為解決這一難題，他帶領團隊和企業技術人員團結協作、集智攻關，通過三四年的努力，終于發現了工作臺中常人意想不到的另一支“隱形的手”，并且搞清楚了怎么設計工作臺來減小它的影響。正是有了無數個像這樣“一絲不茍的攻關”，才促成了我國首臺IC光刻機的問世。

發布會現場。李思輝攝

“我也想結合這段攻關經歷，談談勇攀高峰、敢為人先的創新精神的重要性。”陳學東介紹，德國一家公司憑借用永磁體做準零剛度這項創新，做成了減振器行業標桿，成為阿斯麥光刻機的減振配套商。我們分析發現他們的技術其實還是有缺陷，于是我們摸索出一種新思路，經過十多年的不懈努力，研制出新型準零剛度減振器，綜合性能實現超越，終于解決了高端主動減振器國產自主可控難題。其實不僅是光刻機，像現在正在發展的無人裝備、人形機器人等技術研究，都需要我們發揚勇攀高峰、敢為人先的創新精神。

他總結說，敢為人先、勇攀高峰，一絲不茍、精益求精，沉下心來、執著堅持等等，是科學研究取得重大突破的關鍵。新時代的年輕人有朝氣、有活力、有寬廣的視野，繼承和發揚這些科學家精神，相信，未來一定能夠取得更大的突破。

據悉，華科大“科學家精神進校園”系列活動的首場活動將于5月12日舉行，陳學東院士將走進國家級示范性高中——江蘇省姜堰中學進行宣講。