光刻機原理是什么

光刻機原理是什么，為何在我國如此重要？一臺EUV光刻機售價一億美金以上，比很多戰斗機的售價都要貴。先進的光刻機必須要用到世界上最先進的零件和技術，并且高度依賴供應鏈全球化，荷蘭的ASML用了美國提供的世界上最好的極紫外光源，德國蔡司世界上最好的鏡片和光學系統技術，還有瑞典提供的精密軸承。另外，為了給光刻機的研發提供充足的資金，ASML還強制讓三星，臺積電，英特爾等重要客戶入股投資了ASML并一起參與開發和反饋光刻機設備存在的問題，ASML得到了最先進的技術和大量的資金支持。

中國目前由于瓦納森條約先進設備禁運，很難買到國外的一些先進設備和技術，中國只能靠自己獨立自主發展光刻機，同時我們國家的精密加工和先進制造業還不是很發達，很多零件的性能不如國外，甚至有些零件我們還造不出來，這就導致我們國家先進光刻機的研發進度遠遠落后于ASML，我們國家自己研發的光刻機目前最好的是上海微電子的90nm制程的光刻機,跟ASML差距很大，雖然這條道路很艱難，但是如果我們做不出來，美國就會一直卡我們的脖子，我們自己的光刻機也在努力追趕世界先進水平。

光刻機涉及的核心技術太多，不是幾句話能說透，否則也不至于成為“卡脖子”的技術與設備，至少從機械方面的精密加工，甚至可以說極精密加工、微電子、程序控制、光電技術與感應系統……太多太多了，應該說全是難點，尤其是這些技術要組合在一起協同工作，就成了難上加難了，我的疑惑是為什么荷蘭，現在應該叫尼德蘭了，是如何會在這個領域如此獨占鰲頭的。