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  • 發布時間:2011-05-19 10:33 原文鏈接: 光電所微透鏡列陣制備技術獲得新突破

      中科院光電技術研究所第四研究室微光學研究小組以國家工程項目需求為牽引,通過發展新工藝,在基于曲面載體的微透鏡陣列研制方面取得新的突破,在國內首次實現了基于曲面載體的微光學結構制備。微結構子口徑可以從幾微米拓展到毫米級,子孔徑形貌可以是四邊形、六邊形以及各種不規則形狀,填充因子根據需要可以達到100%。

      在研究組前期發展的移動掩模技術、移動掩模濾波技術等平面微光學元件制備方法基礎上,課題組發展了適用于曲面載體的微光學元件成形技術:子孔徑40μm的人工復眼結構中約有20000個微透鏡陣列,他們被準確的集成于球冠表面,球冠口徑為25 mm,高度為8mm。

      人工復眼結構利用微透鏡對各個空間方位進行監視,可以在大視場范圍內實現對目標的快速定位和觀測。曲面載體微光學元件制備技術的突破使得人工復眼結構及曲面載體微元件的制備和應用成為了可能,在生物醫學、精密測量與成像領域將具有重要的應用價值。

      

      圖1 周期5um微透鏡列陣結構

      

      圖2 人工復眼結構SEM圖片

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