加速電壓對掃描電鏡成像的影響

加速電壓對掃描電鏡成像的影響

加速電壓對于BSE和SE成像的影響是類似的：低加速電壓能夠得到樣品表面更多的細節；而在高加速電壓下，圖像的分辨率提高，但由于穿透效應，樣品的表面細節減少，有利于忽略樣品表面的一些細小污染物。這可以在下面的圖片中看到，在低加速電壓下，樣品表面的污染物清晰可見，而高加電壓的圖像表面污染物“減少”。

對于不同性質的樣品，選擇合適的加速電壓非常重要。生物樣品、聚合物以及其他有機樣品都對高能量的電子非常敏感。由于SEM在真空中運作，這種敏感性進一步增強。這就是SEM廠商致力于開發低電壓下成像技術的原因，這樣的話即使是zui精細、對電子束能量敏感的樣品也能拍出比較好的圖像。

在這一過程中遇到的主要困難是成像技術背后的物理原理：與攝影相似，存在幾種可能的因素會影響zui終輸出的圖像質量，如畸變和像差。隨著電壓升高，獲得的信號量也變多，色差的影響逐漸減小，這也是為什么之前SEM的趨勢是利用盡可能高的電壓以提高成像分辨率的主要原因。