原子力顯微鏡（AFM）之三種工作模式比較

接觸模式（Contact Mode）：

優點：掃描速度快，是唯一能夠獲得“原子分辨率”圖像的AFM垂直方向上有明顯變化的質硬樣品，有時更適于用Contact Mode掃描成像。

缺點：橫向力影響圖像質量。在空氣中，因為樣品表面吸附液層的毛細作用，使針尖與樣品之間的粘著力很大。橫向力與粘著力的合力導致圖像空間分辨率降低，而且針尖刮擦樣品會損壞軟質樣品（如生物樣品，聚合體等）。

非接觸模式（non-Contact Mode）：

優點：沒有力作用于樣品表面。

缺點：由于針尖與樣品分離，橫向分辨率低；為了避免接觸吸附層而導致針尖膠粘，其掃描速度低于Tapping Mode和Contact ModeAFM。通常僅用于非常怕水的樣品，吸附液層必須薄，如果太厚，針尖會陷入液層，引起反饋不穩，刮擦樣品。由于上述缺點，non-Contact Mode的使用受到限制。

輕敲模式（Tapping Mode）：

優點：很好的消除了橫向力的影響。降低了由吸附液層引起的力，圖像分辨率高，適于觀測軟、易碎、或膠粘性樣品，不會損傷其表面。

缺點：比Contact ModeAFM的掃描速度慢。