在國家重大研究計劃課題支持下，國家納米科學中心開展的納米臺階標準研制工作已取得重要進展。
經國家質量監督檢驗檢疫總局發文(國質檢量[2011]168號和[2011]339號)批準，中心已獲得5個系列納米臺階高度國家一級標準物質證書及計量器具許可證。該系列標準由納米中心劉前、王奇、郭延軍、李曉軍等與中國計量科學研究院經過5年的通力合作完成，是國家首次批準的物理量納米標準物質。
該標準物質采用了計量型原子力顯微鏡進行絕對法定值，定值結果直接溯源至激光波長國家基準，定值數據準確可靠，不確定度達到國際先進水平，填補了國家空白，為我國探針型設備，如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、臺階儀、輪廓儀等，提供了從納米到微米尺度的校準用標準物質，并能為這些設備所在實驗室的檢測結果比對及溯源提供依據，對滿足國內半導體、微電子行業應用需求，及推動我國微納米科學技術的發展具有重要意義。
| 名稱 | 編號 | 標準值(nm) | 相對不確定度(%) |
| 納米臺階高度標準物質 | GBW13950 | 100 | 1.8 |
| 納米臺階高度標準物質 | GBW13951 | 200 | 1.2 |
| 納米臺階高度標準物質 | GBW13952 | 50 | 2.8 |
| 納米臺階高度標準物質 | GBW13953 | 500 | 0.8 |
| 納米臺階高度標準物質 | GBW13954 | 1000 | 0. |
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