明暗場成像是最基本也是最常用的技術方法,其操作比較容易,這里僅對暗場像操作及其要點簡單介紹如下: (1) 在明場像下尋找感興趣的視場。 (2) 插入選區光欄圍住所選擇的視場。 (3) 按“衍射”按鈕轉入衍射操作方式,取出物鏡光欄,此時熒光屏上將顯示選區域內晶體產生的衍射花樣。為獲得較強的衍射束,可適當的傾轉樣品調整其取向。 (4) 傾斜入射電子束方向,使用于成像的衍射束與電鏡光鈾平行,此時該衍射斑點應位于熒光屏中心。 (5) 插入物鏡光欄套住熒光屏中心的衍射斑點,轉入成像操作方式,取出選區光欄。此時,熒光屏上顯示的圖像即為該衍射束形成的暗場像。(衍射使用選區光闌,成像使用物鏡光闌) 通過傾斜入射束方向,把成像的衍射束調整至光軸方向,這樣可以減小球差,獲得高質量的圖像。用這種方式形成的暗場像稱為中心暗場像。在傾斜入射束時,應將透射斑移至原強衍射斑(hkl)位置,而(hkl)弱衍射斑相應地移至熒光屏中心,而變成強衍射斑點,這一點應該在操作時引起注意。 利用暗場像觀測析出相的尺寸、及其在基體中的分布,是衍襯分析工作中一種常用的實驗技術。 利用層錯明暗場像外側條紋的襯度,可以判定層錯的性質。
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