掃描探針技術（SPM）與其它顯微分析技術相比有什么特點

在STM 出現以后，又陸續發展了一系列工作原理相似的新型顯微技術，包括原子力顯微鏡，以原子力顯微鏡為代表的掃描探針技術（SPM）與其它顯微分析技術相比有以下特點：

1）、原子級高分辨率。如STM 在平行和垂直于樣品表面方向的分辨率分別可達0.1nm 和0.01nm，可以分辨出單個原子，具有原子級的分辨率。圖4-1 比較了SPM 與其它顯微技術的分辨率。

圖16  掃描探針顯微鏡（SPM）與其他顯微鏡技術的分辨本領范圍比較

圖16中，HM：高分辨光學顯微鏡； PCM：相反差顯微鏡； (S)TEM：（掃描）透射電子顯微鏡；FIM：場離子顯微鏡；REM：反射電子顯微鏡

2）、可實時地得到實空間中表面的三維圖像，可用于具有周期性或不具備周期性的表面結構研究。這種可實時觀測的性能可用于表面擴散等動態過程的研究。

3）、可以觀察單個原子層的局部表面結構，而不是體相或整個表面的平均性質。因而可直接觀察到表面缺陷、表面重構、表面吸附體的形態和位置，以及由吸附體引起的表面重構等。

4）、可在真空、大氣、常溫等不同環境下工作，甚至可將樣品浸在水和其它溶液中，不需要特別的制樣技術，并且探測過程對樣品無損傷。這些特點適用于研究生物樣品和在不同試驗條件下對樣品表面的評價，例如對于多相催化機理、超導機制、電化學反應過程中電極表面變化的監測等。

5）、配合掃描隧道譜STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到有關表面結構的信息，例如表面不同層次的態密度、表面電子阱、電荷密度波、表面勢壘的變化和能隙結構等。