掃描探針顯微鏡和掃描探針顯微鏡的光軸調整方法

掃描探針顯微鏡和掃描探針顯微鏡的光軸調整方法。

提供能夠使用配置于掃描探針顯微鏡的物鏡來自動地進行光杠桿的光軸調整的掃描探針顯微鏡和其光軸調整方法。是一種掃描探針顯微鏡（100），所述掃描探針顯微鏡（100）具備：懸臂支承部（11），以規定的安裝角（θ）安裝懸臂（4）；移動機構（21），對懸臂的位置進行調整；光源部（1），照射檢測光（L0）；檢測部（6），對檢測光（L1）進行檢測來對懸臂的移位進行檢測；以及物鏡（17），對懸臂的附近進行觀察或拍攝，所述掃描探針顯微鏡（100）還具備控制單元（40），對使用物鏡拍攝的檢測光的光斑光的光斑位置（G1）進行檢測，接著，對使用物鏡拍攝的懸臂的位置（G2）進行檢測，基于光斑位置、懸臂的位置、檢測光（L0）的入射角（φ）、以及安裝角，對移動機構進行控制，以使在將懸臂安裝于懸臂支承部時在反射面反射檢測光。

主權利要求: 1.一種掃描探針顯微鏡，具備：懸臂，設置有與樣品的表面接近的探針；懸臂支承部，相對于水平面以規定的安裝角安裝所述懸臂；移動機構，對所述懸臂的位置進行調整；光源部，照射檢測光；檢測部，對在設置于所述懸臂的反射面反射的所述檢測光進行檢測來對所述懸臂的移位進行檢測；以及物鏡，與所述懸臂相對地配置，對該懸臂的附近進行觀察或拍攝，所述掃描探針顯微鏡的特征在于，還具備控制單元，在未將所述懸臂安裝于所述懸臂支承部的狀態下，對使用所述物鏡拍攝的所述檢測光的光斑光的光斑位置進行檢測，接著，對使用所述物鏡拍攝的所述懸臂的位置進行檢測，基于所述光斑位置、所述懸臂的位置、所述檢測光的入射角、以及所述安裝角，對所述移動機構進行控制，以使在將所述懸臂安裝于所述懸臂支承部時在所述反射面反射所述檢測光。