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  • 發布時間:2018-04-08 14:29 原文鏈接: 掃描探針顯微鏡(SPM)針尖

    1、STM針尖:W絲、Pt-Ir絲。超高真空一般用W絲,通過電化學腐蝕、高溫退火或原位處理以去除氧化層。大氣中一般用Pt-Ir絲,直接剪切制成。

    2、AFM針尖:Si、SiN4材料,通過微加工光刻的方法制備。


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