掃描電子顯微鏡的主要結構

掃描電子顯微鏡的主要結構
1.電子光學系統：電子槍；聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡）；物鏡光闌。
2.掃描系統：掃描信號發生器；掃描放大控制器；掃描偏轉線圈。
3.信號探測放大系統：探測二次電子、背散射電子等電子信號。
4.圖象顯示和記錄系統：早期SEM采用顯象管、照相機等。數字式SEM采用電腦系統進行圖象顯示和記錄管理。
5.真空系統：真空度高于 10 -4 Torr 。常用：機械真空泵、擴散泵、渦輪分子泵。
6.電源系統：高壓發生裝置、高壓油箱。
掃描電子顯微鏡，簡稱掃描電鏡、SEM可以應用于多個領域，例如：
(1)生物：種子、花粉、細菌……
(2)醫學：血球、病毒……
(3)動物：大腸、絨毛、細胞、纖維……
(4)材料：陶瓷、高分子、粉末、環氧樹脂……
(5)化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥(桿菌) 、機械、電機及導電性樣品，如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察……)電子材料等。