日立掃描電鏡采用逐點成像的方法

日立掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。日立掃描電鏡具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來，掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發展。

　　由于高能電子束與樣品物質的交互作用，結果產生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經放大后送到顯像管的柵極上，調制顯像管的亮度。由于經過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說，電子束打到樣品上一點時，在顯像管熒光屏上就出現一個亮點。日立掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。

　　在進行日立掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應的處理。日立掃描電鏡樣品制備的主要要求是：盡可能使樣品的表面結構保存好，沒有變形和污染，樣品干燥并且有良好導電性能。

　　日立掃描電鏡作為商品出現則較晚，早在1935年，Kn-oll在設計透射電鏡的同時，就提出了掃描電鏡的原理及設計思想。1940年英國劍橋大學首次試制成功掃描電鏡。但由于分辨率很差、照相時間過長,因此沒有立即進入實用階段，至1965年英國劍橋科學儀器有限公司開始生產商品掃描電鏡。80年代后掃描電鏡的制造技術和成像性能提高很快，目前高分辨型日立掃描電鏡（如日立公司的S-5000型）使用冷場發射電子槍，分辨率已達0.6nm，放大率達80萬倍。