牛津儀器為NatreDame大學提供等離子體設備

　　為進一步的擴大和促進研究能力，美國中西部納米電子研發中心(MIND)采購了牛津儀器公司等離子技術部的等離子蝕刻和沉積兩套設備。該FlexALa原子沉積(ALD)和System100 ICP等離子蝕刻設備將安裝在Notre Dame的納米加工設施里，位于美國印第安納州Notre Dame大學校園里工程學斯廷森-雷米克廳的9000平方英尺的無塵室。

　　FlexAL設備為工程納米結構器件提高了靈活性和能力，其方法是通過提供一個包含遠程等離子ALD制程和thermal ALD的獨立平臺。System100 ICP等離子蝕刻設備的特點在于使用新的Cobra離子源，即：給用戶提供了額外的等離子控制功能，從而為此先進工藝提供了更強的靈活性。

　　MIND是由半導體研究公司納米電子學研究所 (NRI)主辦的四個中心之一。MIND還與美國國家標準與技術研究所、Argonne國家實驗室，國家強磁場實驗室有著合作。

　　美國中西部納米電子研發中心(MIND)的Alan Seabaugh教授和董事長Frank M. Freimann提到："納米電子學研究中心的目標是研發并且發展能超越傳統設備性能的下一代納米級別邏輯器件，并使其成為能廣泛應用于未來的電腦里面。在Notre Dame大學，我們選擇了牛津儀器公司的設備，以促進這項工作。因為牛津儀器公司具有先進技術，設備的通用性和成本效益給研發工作帶來貢獻。"

　　牛津儀器公司美國銷售副總裁Stuart Mitchell說， "我們公司的目標是追求負責任地發展以及通過科學和技術對世界更深入地了解，多年以來我們一直是多著名美國研究機構的主要供應商。這個等離子蝕刻和沉積系統的訂單讓我們成為制造業領先的供應商，并加強了我們在美國科研界作為重要供應商的聲譽。"

　　關于牛津

　　牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界領先的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。

　　具體產品信息請參見牛津儀器公司中文網站及英文網站：

　　www.oichina.cn

　　www.oxford-instruments.com

　　牛津儀器(上海)有限公司 電話: (021) 64908280 傳真: (021) 64904042

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