牛津儀器SymmetryEBSD——快速與高靈敏度兼備

　　分析測試百科網訊 EBSD技術是材料科學表征的一個重要手段，受到越來越多顯微工作者的重視，同時 EBSD使用者的水平也在逐年提高。相比XRD來說，EBSD可以針對微觀選取更加精確定位局部晶粒及晶界特性，樣品形狀及尺寸不受限制，可以做塊狀、絲狀、截面等多種樣品，牛津儀器大面積采集模式，也可以對整個樣品進行分析，獲取織構信息或相分布信息；同時TKD模式也可以直接使用TEM樣品做高空間分辨率的分析，分辨率可達10nm左右。

　　2017年牛津儀器全面更新了EBSD產品線，推出基于CMOS傳感器技術的新型EBSD探測器——Symmetry，實現了高速及高靈敏度二者兼得的優勢。今年8月份全球第200臺CMOS EBSD落戶武漢科技大學分析測試中心。針對Symmetry的技術特點，以及相比上一代CCD-EBSD產品的區別，分析測試百科網近期采訪了武漢科技大學耐火材料與冶金國家重點實驗室范麗霞老師，范老師為我們進行了詳細的介紹。

武漢科技大學耐火材料與冶金國家重點實驗室 范麗霞老師和武漢科技大學分析測試中心 張國宏老師

　　范老師主要負責實驗室超高分辨場發射掃描電鏡，該電鏡配備了牛津儀器能譜儀和EBSD。面向全校師生，進行材料微觀織構分析，物相鑒定分析以及晶界工程分析。2007年底，范老師所在武漢科技大學耐火材料與冶金國家重點實驗室便開始使用牛津儀器的能譜儀和EBSD產品，至今已使用12年，范老師表示牛津儀器產品穩定性非常好，即使平時有一些小問題通過與牛津儀器工程師電話溝通就能夠解決。

牛津儀器Symmetry EBSD

　　當談及牛津儀器CMOS EBSD Symmetry相比上一代CCD產品具有哪些特點時，范老師指出第一個特點就是分析速度快。2003年范老師自己讀書時期，當時EBSD采集速度每秒只有幾十個點；2007年底范老師實驗室使用早期牛津儀器Nordlys 2基于 CCD的EBSD探測器，采集速度每秒也就只達到上百點；今天基于CMOS技術的Symmetry采集速度高達3000點/秒。范老師表示原先一個樣品需要用十幾個小時進行織構分析，現在使用Symmetry只需幾十分鐘的時間即可完成，可以稱得上質的飛躍。采訪時范老師剛剛使用Symmetry進行了硅鋼熱軋板的織構分析，原先EBSD需要2小時，現在不到30min就檢測完，分析速度得到了大大提高，而且圖像質量也比之前好很多，大大緩解了高校的測試壓力，提高樣品分析水平。

　　第二個特點操作安全。Symmetry設有非接觸報警功能，當探頭伸向樣品感知有危險時，沒有接觸便會自動退回，這樣操作更加安全。范老師指出學生在實驗過程中，更換樣品時很可能會撞到探頭，而探頭表面是一層很薄的熒光屏，如果損壞，維修費用需要花費幾十萬。

　　第三個特點就是分辨率高。Symmetry采用CMOS相機靈敏度高，噪聲小，在158×128像素分辨率下采集速度保證3000點/秒。Symmetry可以采集無失真的百萬像素分辨率的EBSD花樣，對學生一些需要高分辨分析的樣品，比如形變樣品等，非常有幫助。

　　最后范老師指出Symmetry降低了樣品前處理的難度，數據后處理軟件操作也更佳簡單，儀器對使用者的要求越來越低。同時操作中如切換樣品、更換樣品位置，伸縮EBSD探頭，都無需反復進行扣背景，操作起來更加簡潔方便。

　　基于CMOS技術的 Symmetry是變革者，它已經準備好開啟新的發展，帶來更精密的應用，歡迎大家一起來感受，牛津儀器在上海以及北京各有演示實驗室，歡迎各界人士參觀測試。