王曦院士：科技創新要有全球化視野

王曦

　　“做科學家，尤其是應用學科的科學家，必須把自己的研究與國家的戰略需要聯系起來，通盤去想，去布大局，做大事。”

　　在日前接受《中國科學報》記者采訪時，身為中科院院士、中科院上海微系統所所長的王曦如是說。

　　同時，他認為，要以創新驅動發展，推動科技和經濟緊密結合，當前必須善用全球化資源，大力引進海外科技創業人才。

“必須要有全球化視野”

　　作為十八大代表，在認真學習十八大報告之后，王曦對報告里“實施創新驅動發展戰略”中的一段印象特別深刻：“要堅持走中國特色自主創新道路，以全球視野謀劃和推動創新，提高原始創新、集成創新和引進消化吸收再創新能力，更加注重協同創新。”

　　王曦表示，原始創新、集成創新和引進消化吸收再創新能力、協同創新，以前都曾有過表述，但“以全球視野謀劃和推動創新”是一個新提法，非常重要。“我們現在科技創新不足，雖然有很多探索，比如促進成果轉化、產學研合作、企業創新制度建設等，但這還不夠。我們必須要有全球化視野。”

　　他透露說，上海現在已經在嘗試引進一些海外科技創業人才，這些人才在科技和經濟的結合、科技促進經濟發展這一塊，有著更強的能力和經驗。

　　“他們很多人不僅有著科研能力，同時也在國外大企業做過，參與過國外資本市場的運作，非常有經驗。而這些，恰恰是國內相對還比較薄弱的環節。”王曦說。

　　王曦還告訴記者，在他所從事的信息領域，上海已經在引進一批“傳感器及超越摩爾集成電路”方面的海外創新創業人士，上海市政府對此非常重視，正在醞釀一個重大專項，以加速推動這方面的產業化進程。

讓SOI材料走出實驗室

　　早在1996年，王曦就已作為“洪堡學者”在德國羅森多夫研究中心接觸到了世界上最先進的離子注入技術。

　　1998年，王曦回國競聘成為離子束國家重點實驗室主任，同時擔任“高端硅基SOI材料”制備研究項目的負責人。

　　“離子注入是制備SOI材料的工具和手段，我對離子注入有很深刻的了解，這樣就非常容易把它應用在SOI材料上。”王曦解釋說。

　　SOI，即絕緣體上的硅，是國際公認的21世紀微電子新技術之一和新一代硅基材料，在低壓低功耗電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面有著重要應用。

　　高端硅基SOI制備中的關鍵技術，正是王曦鉆研多年的“離子注入”。

　　“為什么不利用自己的優勢開發產品，把這個在研究所里埋藏20多年的技術推向市場？”于是，“讓SOI材料走出實驗室”成了王曦奮斗的目標。

　　2001年7月，中科院上海微系統所聯合北京盈富泰克投資發展有限公司、上海中科高科技工業園發展有限公司等，成立上海新傲科技股份有限公司，致力于將SOI材料產業化。

　　除了將中科院上海微系統所積累近20年的具有自主知識產權的SOI專有技術全部投入外，在王曦的帶領下，研究所SOI課題組主要技術骨干全部進入該公司。

從實驗室思維到產業思維

　　2002年4月底，王曦和他的團隊僅用5個多月的時間，就在新傲公司建成國內第一條具有國際先進水平的SOI生產線。7月2日，第一批光潤無瑕、晶瑩剔透的SOI圓片材料問世。

　　美國硅谷《半導體商業新聞》驚呼：中國“突然”出現了一個現代化的SOI圓片工廠。

　　自成立以來，公司先后承擔了“863”計劃、“973”計劃等各項重大研發和產業化項目。同時，王曦運用他專長的離子注入技術，帶領團隊在關鍵技術上取得一系列重大創新，其中申請國家發明ZL32項、已獲授權16項，并獲2006年度國家科技進步獎一等獎。

　　如今，新傲公司作為國內唯一、國際屈指可數的SOI生產基地，總資產已經由10年前的1300萬元發展到近10億元。

　　不過，對王曦而言，SOI產業化的成功已成為“過去時”。

　　現在，王曦的眼光已投向更大的市場——將新傲打造成中國最好的外延服務商，同時在SOI領域謀求差異化生產。

　　當老牌的法國SOITec公司只針對英特爾等芯片制造公司提供SOI時，王曦已把目光投向汽車電子、傳感器等SOI硅片的新應用領域。