現代SEM中，用戶可以控制電子束的大

在現代SEM中，用戶可以控制電子束的大小。這主要是通過調節系統的會聚鏡和物鏡，選擇不同大小的孔徑光闌來實現的。

電子流經電磁透鏡（由極靴內部的線圈組成），操作者可以通過調節加載在透鏡上的電流來控制電子的路徑。此外，束斑直徑取決于加速度電壓（高加速電壓減小斑點尺寸），工作距離（距離越大，束斑直徑越大），以及物鏡光闌（較小的光闌產生較小的束斑直徑）。

然而，實際上電子束斑的大小是一個控制和預測起來非常復雜的參數，因為它依賴于許多（相互關聯的）因素。描述束斑直徑涉及到電子槍的高斯直徑、末級光闌的衍射效應、色差和電磁透鏡引起的球面像差。

如果再看下圖1，為了在樣品試樣表面上有一個較小的束斑直徑和足夠的電流，用戶只需增加電子束的會聚角。然而，這將增加掃描電鏡中光學元件的像差，從而拓寬光束。因此，要想準確地進行實驗，必須了解不同的參數是如何影響電子束的特性，并權衡它們之間的利弊。