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?? 利用掃描電鏡觀察高分子材料（塑料、纖維和橡膠）、陶瓷、玻璃及木材、羊毛等不導電或導電性很差的非金屬材料時，一般都要事先用真空鍍膜機或離子濺射儀在試樣表面上蒸涂（沉積）一層重金屬導電膜（我們一般是在試樣表面蒸涂一層金膜），這樣既可以消除試樣荷電現象，又可以增加試樣表面導電導熱性，減少電子束造成的試樣（如高分子及生物試樣）損傷、提高二次電子發射率。?除用真空鍍膜機制備導電膜外，利用離子濺射儀制備試樣表面導電膜能收到更 好的效果。濺射過程是在真空度為0.2～0.02Torr條件下，陽極（試樣）與陰極（金靶）之間加500～1000V直流電壓，使殘余氣體產生電離后的陽離子及電子在極間電場作用下，將分別移向陰極和陽極。在陽離子轟擊下，金靶表面迅速產生金粒子濺射，并在不斷地遭受殘余氣體散射的過程中，金粒子從各個方向落到處于陽極位置的試樣表面，形成一定厚度的導電膜。整個過程只需1～2min。離子濺射法設備簡單，操作方便，噴涂導電膜具有較好的均勻性和連續性，是正在日益廣泛采用的方法。此外，利用離子濺射儀對試樣進行選擇性減薄（蝕刻）或清除表面污染物等工作也很有效。