軸承：機械式軸承 / 空氣式軸承 / 空氣式軸承
旋轉模式下最小扭矩(muNm)： 250 / 0.1 / 0.05
振蕩模式下最小扭矩(muNm): --/ 0.1 / 0.01
振蕩/振蕩模式下最大扭矩(mNm)：125 / 150 / 200
最小速度（CSS)：10-7 rpm
最小速度（CSR)：10-7 rpm
最大速度： 3000rpm
最小角頻率： 10-7 Hz
最大角頻率： 628rad/s
軸承：機械式軸承/空氣式軸承/空氣式軸承旋轉模式下最小扭矩(muNm)：250/0.1/0.05振蕩模式下最小扭矩(muNm): --/0.1/0.01振蕩/振蕩模式下最大扭矩(mNm)：1......
