離子束加工跟等離子體加工的原理有何不同

　　1、離子束加工的基本原理
　　所謂離子束拋光，就是把惰性氣體氬、氮等放在真空瓶中，用高頻電磁振蕩或放電 等方法對陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用 5 千至 10 萬伏高電壓對這些正離 子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細束,形成高能 量密度離子流， 在計算機的控制下轟擊放在真空室經過精磨的工件表面，從其表面把工 件物質一個原子一個原子地濺射掉。用這種方法對工件表面進行深度從 100 埃到 10 微 米左右的精密加工。
　　2、等離子體加工的基本原理
　　等離子體加工又稱為等離子弧加工，是利用電弧放電使氣體電離成過熱的等離子氣 體流束，靠局部熔化及氣體去除材料的。等離子體又被成為物質的第四種狀態。 等離子體是高溫電離的氣體，它由氣體原子或分子在高溫下獲得能量電離之后，理 解成帶正電荷的離子和帶負電荷的自由電子，整體的正負離子數目和正負電荷仍相等， 因此稱為等離子體，具有極高的能量密度。