簡述俄歇電子能譜的歷史背景

　　最近十年中，固體表面分析方法獲得了迅速的發展，它是目前分析化學領域中最活躍的分支之一。 它的發展與催化研究、材料科學和微型電子器件研制等有關領域內迫切需要了解各種固體表面現象密切相關。各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。

　　在表面組分分析方法中，除化學分析用電子能譜以外，俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。

　　雖然早在 1925 年法國人俄歇就已在威爾遜云室內首次發現了俄歇電子的徑跡，1953 年蘭德從二次電子能量分布曲線中第一次辨認出俄歇電子譜線， 但是由于俄歇電子譜線強度低，它常常被淹沒在非彈性散射電子的背景中，所以檢測它比較困難。 六十年代末期， 由于采用了電子能量分布函數的微分法和使用低能電子衍射的 電子光學系統，才使檢測俄歇電子的儀器技術有了突破。 1969 年圓筒形電子能量分析器應用于AES譜儀, 進一步提高了分析的速度和靈敏度。 七十年代以來,AES已迅速地發展成為強有力的固體表面化學分析方法。