• <table id="4yyaw"><kbd id="4yyaw"></kbd></table>
  • <td id="4yyaw"></td>
  • 發布時間:2020-10-12 20:14 原文鏈接: 納米薄膜的制備方法

    針對有機半導體粉料和金屬粉料蒸發溫度低的特點,設計并制作了新型低溫輻射式薄膜加熱蒸發器,通過對有機粉料的蒸發及濺射時樣片襯底的加熱實驗,取得了良好效果,通過觀測裝置,可以觀測到,薄膜監控測厚儀未能反映出的10納米薄膜厚度。其制作成本低,加熱效率高,同時又提高了設備功效;是一種多功能輻射式加熱器,在物理教學和相關的科研生產中有著廣泛的應用前景。在真空中使固體表面(基片)上沉積一層金屬、半導體或介質薄膜的工藝通常稱為真空鍍膜。早在19世紀,英國的Grove和德國的Plucker相繼在氣體放電實驗的輝光放電壁上觀察到了濺射的金屬薄膜,這就是真空鍍膜的萌芽。后于1877年將金屬濺射用于鏡子的生產;1930年左右將它用于Edison唱機錄音蠟主盤上的導電金屬。以后的30年,高真空蒸發鍍膜又得到了飛速發展,這時已能在實驗室只制造單層反射膜、單層減反膜和單層分光膜,并且在1939年由德國的Schott等人鍍制出金屬的Fairy-Perot干涉濾波片,1952年又做出了高峰值、窄寬度的全介質干涉濾波片。真空鍍膜技術歷經一個多世紀的發展,目前已廣泛用于電子、光學、磁學、半導體、無線電及材料科學等領域,成為一種不可缺少的新技術、新手段、新方法。

    液相法

    (a) 溶膠-凝膠法.該方法制備納米薄膜的基本步驟如下:首先用金屬無機鹽或有機金屬化合

    物制備溶膠,然后將襯底(如SiO2玻璃襯底等)浸入溶膠后以一定速度進行提拉,結果溶膠附著在襯底上,經一定溫加熱后即得到納米微粒的膜.膜的厚度控制可通過提拉次數來控制。

    液相法

    (b) 電沉積法.一般Ⅱ-Ⅵ族半導體薄膜可用此法制備。

    氣相法

    1. 高速超微粒子沉積法(氣體沉積法).基本原理是用蒸發或濺射等方法獲得基本原理是:用蒸發或濺射等方法獲得超微粒子,用一定氣壓的惰性氣體作載流氣體,通過噴嘴,在基板上沉積成膜.

    2. 直接沉積法是當前制備納米薄膜普遍采用的方法,?基本原理:把納米粒子直接沉淀在低溫基片上.制備方法主要有三種:惰性氣體蒸發法、等離子濺射法和輝光放電等離子誘導化學氣相沉積法.基片的位置、氣體的壓強、沉淀速率和基片溫度是影響納米膜質量的重要因素.




    相關文章

    HORIBA攜EtaMax首度亮相SEMICONChina2026,助力中國化合物半導體加速跑

    從材料研發到量產良率,化合物半導體的產業化之路,每一步都依賴于精準的“丈量”,自2025年完成對韓國領先化合物半導體昆圓檢測企業EtaMax的收購以來,HORIBA持續推進雙方技術整合,將自身先進光譜......

    安益譜LCMS:驅動半導體光刻膠研發國產化的精密分析利器

    在全球半導體產業鏈競爭日趨激烈的今天,光刻膠作為芯片制造中的關鍵材料,其自主研發與國產化進程已成為國家科技自立自強的重要戰略組成。隨著我國光刻膠行業從追趕走向并跑甚至領跑,對材料研發中的精準分析需求也......

    商務部新聞發言人就安世荷蘭批量禁用安世中國員工辦公軟件答記者問

    有記者問:3月6日,安世中國發布客戶公告稱,近期安世荷蘭批量禁用安世中國員工辦公賬號,導致部分辦公系統無法使用,影響部分生產流程。請問商務部對此有何評論?答:我注意到有關報道。在中荷雙方推動下,聞泰科......

    中國團隊研制出儀器,精準檢測芯片里的“定時炸彈”

    在一個隊列方陣中,如果突然缺了一個人,就會出現空位。這樣的“空位”一旦發生在第三代半導體(寬禁帶半導體)材料里就是點缺陷,雖然這樣的缺陷小到肉眼看不見,卻能直接影響芯片的性能。除了“空位”,寬禁帶半導......

    事關半導體材料!兩款國產設備順利交付

    記者2月4日從中電科電子裝備集團有限公司(以下簡稱電科裝備)獲悉,近日,由電科裝備下屬北京中電科公司自主研制的國內首臺套12英寸碳化硅晶錠減薄設備、襯底減薄設備成功發貨,順利交付行業龍頭企業,標志著國......

    芯航微完成數千萬元天使輪融資,宇杉資本和上海道禾投資出手

    芯航微(上海)科技有限公司(下稱「芯航微」)已于近期完成數千萬元天使輪融資,本輪融資由宇杉資本和上海道禾投資共同參與,此前公司曾獲得險峰長青的種子輪投資。據悉,本輪融資將主要用于渦輪分子泵產線擴建、半......

    1058億日元!島津收購Tescan加碼布局電鏡市場

    2025年12月25日,全球知名分析測量儀器制造商島津制作所(Shimadzu)正式宣布,將收購間接持有TescanGroupa.s.(以下簡稱“Tescan”)全部股份的GlassHoldCos.r......

    商務部:堅決反對美對華半導體產品加征301關稅已提出嚴正交涉

    商務部新聞發言人何詠前25日在回答關于美宣布對部分中國半導體產品加征301關稅的有關提問時說,中方注意到有關情況,已通過中美經貿磋商機制向美方提出嚴正交涉。中方不認同美方301調查的所謂結論,堅決反對......

    美國擬自2027年起對中國半導體產業加征關稅外交部回應

    外交部發言人林劍主持例行記者會。法新社記者提問,美國貿易代表調查結果稱“中國實行了不公平的措施,企圖主導半導體產業”,美國擬自2027年起對中國半導體產業加征關稅。中方對此有何評論?林劍表示,中方堅決......

    商務部新聞發言人就安世半導體問題答記者問

    有記者問:近期有媒體報道稱,安世東莞廠的晶圓庫存目前處于較低水平,開始導致包括在中國的中外汽車制造商出現芯片短缺。請問您對此有何評論?此外,上周聞泰科技與安世荷蘭進行了協商,請問協商進展如何?答:我注......

  • <table id="4yyaw"><kbd id="4yyaw"></kbd></table>
  • <td id="4yyaw"></td>
  • 调性视频