表面元素分布分析

俄歇電子能譜表面元素分布分析 , 也稱為俄歇電子能譜元素分布圖像分析。它可以把某個元素在某一區域內的分布以圖像方式表示出來 , 就象電鏡照片一樣。只不過電鏡照片提供的是樣品表面形貌 , 而俄歇電子能譜提供的是元素的分布圖像。結合俄歇化學位移分析 , 還可以獲得特定化學價態元素的化學分布圖像。俄歇電子能譜的表面元素分布分析適合于微型材料和技術的研究 , 也適合表面擴散等領域的研究。在常規分析中 , 由于該分析方法耗時非常長 , 一般很少使用。把表面元素分布分析與俄歇化學效應相結合起來 , 還可以獲得元素的化學價態分布圖。