在光學顯微鏡下無法看清小于0.2μm的細微結構,這些結構稱為亞顯微結構或超微結構。要想看清這些結構,就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。目前TEM的分辨力可達0.2nm。
透射式電子顯微鏡(TEM)與投射式光學顯微鏡的原理很相近,圖4-12所繪為兩者的簡化光路圖,從圖中可以看出,它們的光源、透鏡雖不相同,但照放大和成像的方式卻完全一致。
在實際情況下無論是光鏡還是電鏡,其內部結構都要比圖示復雜得多,圖中的聚光鏡(condonser lens)、物鏡(object lens)和投影鏡(projection lens)為光路中的主要透鏡,實際制作中它們往往各是一組(多塊透鏡構成),在設計電鏡時為達到所需的放大率、減少畸變和降低像差,又常在投影鏡之上增加一至兩級中間鏡(intemediate lens)。透射式電子顯微鏡的總體結構包括鏡體和輔助系統兩大部分,鏡體部分包含:①照明系統(電子槍G,聚光鏡C1、C2),②成像系統(樣品室,物鏡O,中間鏡I1、I2,投影 鏡P1、P2),③觀察記錄系統(觀察室、照相室),④調校系統(消像散器、束取向調 整器、光闌)。輔助系統包含:①真空系統(機械泵、擴散泵、真空閥、真空規),②電路系統(電源變換、調整控制),③水冷系統。圖4-13(a)為典型透射電鏡的電子光學系統 構成及成像原理示意圖,其中只包含了電鏡鏡體內的照明系統和成像系統兩部分;圖4-13(b)為透射電鏡的鏡體外形結構對照示意圖。
透射電鏡的總體工作原理是:由電子槍發射出來的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過聚光鏡將之會聚成一束尖細、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內的樣品上;透過樣品后的電子束攜帶有樣品內部的結構信息,樣品內致密處透過的電子量少,稀疏處透過的電子量多;經過物鏡的會聚調焦和初級放大后,電子束進入下級的中間透鏡和第1、第2投影鏡進行綜合放大成像,最終被放大了的電子影像投射在觀察室內的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉化為可見光影像以供使用者觀察。本節將分別對各系統中的主要結構和原理予以介紹。
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