重大突破！杭州這家企業實現全固態深紫外激光量產

　　沒有火花，也沒有聲響，一只氣球表面的黑色字跡正在悄悄消失，薄膜卻完好如初——這是深紫外激光的“魔術”。

　　光刻機，被譽為“半導體工業皇冠上的明珠”，其核心在于光源系統。誰掌握了先進光源，誰就掌握了芯片制造的命脈。

　　正是這束光，讓杭州雷聲激光科技有限公司站在了全球全固態深紫外（DUV）激光技術的最前沿，也讓國產全固態光刻機光源商業化邁入全新階段。

　　全固態深紫外激光的國產化與商用化，其價值遠超單項技術突破——它點亮了光刻機自主化的希望，磨礪了精密制造的刀具，并為中國在全球高端光學工業競爭中贏得了至關重要的入場券。

　　從3%到46%，光的能量利用率顯著提升

　　光，是我們看見世界的媒介。在微觀制造的世界里，光就是精度的標尺。深紫外光DUV波長極短（266納米），光子能量高，是進行納米級雕刻和加工的終極工具。

　　今年7月7日，雷聲激光自主研發的DUV激光光源通過中國計量科學研究院測試，綜合性能領跑全球，標志著我國在高端光刻機及半導體加工設備核心光源技術上打破國際壟斷，實現從追趕到引領的跨越。

　　據雷聲激光的執行總裁劉天涯介紹，如同電腦的主機，光源是激光設備的“心臟”。因此，光源系統對于光刻機至關重要。

　　“但長期以來，全球光刻機市場由國外幾大廠商壟斷。他們所采用的氣態技術路線，雖已應用多年，但需要龐大復雜的冷卻系統維持氣體穩定，能量利用率僅在3%—6%之間。這不僅意味著設備體積龐大、能耗驚人，更限制了設備性能的進一步提升。”劉天涯說。

　　雷聲激光選擇的全固態技術路線，帶來了根本性的改變。

　　據劉天涯介紹，全固態DUV激光器用全固態晶體取代氣體介質，使結構更緊湊、運行更穩定，能量利用率更提升至46%以上。與此同時，固態晶體的穩定性讓輸出的激光光束質量更高、控制更精準。

　　這不僅僅是參數的提升，更是為下一代更精密、更高效、更節能的光刻設備奠定了全新的技術基石。

　　幾代科研人的堅守，才“捉住”那道光

　　雷聲激光的背后，凝聚了我國四代科研人的智慧與心血。從軍工航天到商業化量產，他們走過一條漫長的路。

　　早在20世紀60年代早期激光器研發時期，雷聲激光的科學家團隊便已從事固體激光器、固體激光技術以及應用方面的研究。團隊多年來承擔并完成了多項國際、國家重點科研項目和重大工程項目，其中“北斗二號激光測距系統”更是榮獲解放軍科技進步一等獎。

　　2015年，這群科學家毅然走出體制，在北京中關村開啟產業化征程。2024年，為貼近中國半導體產業生態，他們來到杭州創立雷聲激光，成功將國產全固態DUV光源從實驗室轉化為新質生產力，推入產業化階段，實現穩定批量生產。

　　在劉天涯的回憶里，這條創業之路充滿荊棘，最大的挑戰始終是資金，“最困難的時候，我們連兩百元都要精打細算。”

　　尤其在疫情期間，業務回款受阻，一度面臨生存危機。團隊成員紛紛將積蓄投入研發，通過承接高難度的材料加工業務、申請國家科研基金、與高校開展橫向合作等方式艱難“造血”，維系著公司的“生命線”。

　　正是這份近乎執拗的匠心，支撐著他們走過無數個日夜，最終“捉住”了那束穩定、高效、可控的深紫外激光。

　　握緊“光”，只走自己想走的路

　　目前，雷聲激光的全固態深紫外激光光源DUV產品已獲得來自國內龍頭半導體企業及科研院所的批量訂單，基本實現盈利且足以支撐后續研發。

　　包括17位科學家在內，整個團隊僅23人。面對資本市場的高度關注，雷聲激光始終保持著那條“小而精”的獨特發展路徑。

　　劉天涯表示，公司目前沒有上市計劃，只想繼續深耕全固態技術研發，向更短波長、更高功率、更穩定性能發起挑戰。未來五年，團隊期望在精密半導體制成、人工智能算力底層、航空航天、生物醫療等前沿領域，讓“中國之光”發揮更核心的作用。

　　從實驗室的微光到生產線的能量，從嚴密的技術封鎖到扎實的自主突破，雷聲激光的故事，是一束光的故事，更是一個國家在關鍵核心技術領域艱苦攀登的縮影。

　　全固態深紫外激光的國產商用化是一條艱難但必經之路。它既需要科研界的持續創新，也需要產業界的耐心打磨，更離不開政策與市場的雙向驅動。當前國際科技競爭加劇，加速突破深紫外激光技術，不僅是為中國半導體產業“補芯強魂”，更是為未來尖端制造奠定基石。這條路的終點，將是中國高端光學工業的真正崛起。

　　正如劉天涯所言：“我們撕開了封鎖的口子，但攀登珠峰的最后500米，仍需全力以赴。”這條路，因信念而開創，因堅持而延伸，終將因那束被牢牢“捉住”的光，而通向一片自主、光明、充滿可能的產業新高地。