鉑悅儀器中標寧波材料所等離子汽相沉積設備

鉑悅儀器中標中科院寧波材料所PECVD單腔體及多腔體等離子汽相沉積設備兩套

　　寧波材料所位于寧波市高教園區北區，是中國科學院在浙江省建立的首家國立研究機構，建立新所旨在實施新時期中科院辦院方針、加強國家創新體系中各單元協作、推進知識創新工程第三階段工作，及全面落實科學發展觀、加速區域創新體系建設、大幅提升自主創新能力；同時，以制造業和材料產業的發展需求為導向，以材料科技進步為牽引，瞄準世界前沿，面向全國需求，立足寧波、服務浙江、輻射“長三角”。

　　PECVD是借助微博或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，具有基本溫度低；沉積速率快；成膜質量好，針孔較少，不易龜裂等優點。

　　同時我們鉑悅公司還提供臺階儀、光學輪廓儀、AFM、橢偏儀、QE/IV測試儀、直讀光譜儀、合金分析儀、拉曼光譜儀、三坐標、影像測量儀等。