陶氏化學工廠爆炸牽動半導體關鍵耗材生產

　　陶氏化學美國路州廠在美國時間7月15日傳出爆炸起火事件，雖無人傷亡，惟該廠生產光刻膠、拋光墊／液等半導體關鍵耗材，主要供成熟制程晶圓制造使用，牽動業界神經，聯電、世界、力積電等中國臺灣晶圓代工成熟制程相關廠商密切關注后續發展，目前均評估不影響生產。

　　陶氏化學為全球半導體關鍵化學材料重要供應商，高純度化學品產品線提供一系列光刻材料，包括光刻膠、光刻輔助劑等，也供應全球重要的CMP材料包括拋光墊、拋光液等。

　　從產業地位來看，陶氏化學在全球光刻膠市占率約17%，CMP拋光墊市占79%，CMP拋光液市占率約15%左右。

　　半導體業界人士表示，陶氏化學光刻膠主力應用在成熟制程，對先進制程影響相對有限，對成熟制程影響有待觀察，并牽動非半導體的其余化學品耗材。

　　目前看來，中國臺灣晶圓制造商都有多元耗材來源。以臺積電為例，過去南科晶圓14B廠曾遭遇光刻污染事件，當時公司就已對相關化學品管控，積極評估導入更多元的光刻供應商，日系廠商因品質穩定順勢受到青睞。

　　臺積電也是成熟制程主力供應商之一，惟公司目前處于法說會前緘默期，業界評估，臺積電有多元供應商，此次陶氏化學工廠爆炸事件，對臺積電應該沒有直接影響。

　　世界先進、聯電、力積電等臺廠也密切關注相關事件動態。聯電初步評估，相關耗材產品都會有安全庫存，陶氏化學工廠爆炸，不會對聯電旗下工廠造成影響。力積電則說，目前公司營運不受相關事件影響。

　　另外，渠道商華立、崇越均代理日本原廠光刻膠與耗材，當前日系廠商在先進制程光刻膠扮演關鍵角色。崇越提到，光刻膠及CMP等耗材現階段供貨皆正常，不受影響；至于是否有轉單效益或后續影響，須持續觀察。