EBSD與其他衍射技術的比較

EBSD與其他衍射技術的比較

X射線衍射或中子衍射不能進行點衍射分析。除了EBSD外，還有其他的點分析技術，主要有SEM中的電子通道花樣（SAC）和透射電子顯微鏡（TEM）中的微衍射（MD），一般認為EBSD已經取代SAC，而TEM中的微衍射（MD）需要嚴格的樣品制備，且不可能進行自動快速測量。

TEM樣品制備經常是不方便的，因此EBSD成為極有吸引力的選擇。

在原理上，取向測量也能用TEM完成，但事實上，因為TEM制樣困難，每個樣品上可觀察晶粒數很少以及難以與原塊狀樣品相對應，使得EBSD在快速而準確地生成定位取向數據方面成為更高級的方法。TEM只被推薦用于低于EBSD的分辨率極限（即小于0.1）的取向測量,也就是納米(nm)多晶材料和嚴重變形的結構。

因此，EBSD是X射線衍射和透射電子顯微鏡進行取向和相分析的補充，而且它還有其獨特的地方（微區、快速等）。

總之，EBSD是可以做快速而準確的晶體取向測量的強有力的分析工具。EBSD的主要應用是取向和取向差異的測量、微織構分析、相鑒定、應變和真實晶粒尺寸的測量。