| 儀器名稱： | 臺式掃描電子顯微鏡 |
| 儀器編號： | 20023020 |
| 產地： | 日本 |
| 生產廠家： | JEOL |
| 型號： | JCM-7000 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2020-11-26 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 清華大學微納加工平臺一層實驗室 |
| 固定電話： | 01062784044-216 |
| 固定手機： | 13552207495 |
| 固定email： | chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 陳雅璐（010-62782076,13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 掃描電鏡 |
| 技術指標： | 圖像放大倍率：×10～×100,000，最高分辨率15nm； 真空模式：高真空≤10-3Pa，低真空≤20Pa，減輕電荷模式≤80Pa； 加速電壓：5kV，10 kV，15 kV； 圖像模式：高真空模式 : 二次電子像、背散射電子像（成分、相貌、陰影像）、３D圖像，低真空模 : 背散射電子像（成分、相貌、陰影像）、３D圖像。 樣品臺移動范圍：X 0 ~ 40 mm，Y 0 ~ 40 mm，T -10 ~ 45 度，R 360 度； 樣品最大尺寸要求：直徑80mm，高50mm； 抽真空時間：~3min；放真空時間：~30s。 |
| 知名用戶： | 尤政：精儀系 陳兢：北京大學信息學院朱榮：精儀系 嚴清峰：化學系 任大海：精儀系 梁桂強：機械系 錢鶴：微電子所 吳華強：微電子所 蔡堅：微電子所 王喆垚：微電子所 伍曉明：微電子所 王敬：微電子所 鄧寧：微電子所 劉澤文：微電子所 |
| 技術團隊： | 測試工程師：陳雅璐 設備工程師：曹秉軍 |
| 功能特色： | ①表面形貌觀察、元素分析； ②光學定位，SEM 的操作畫面以最低倍率顯示的圖像，是插入樣品時自動拍攝的光學圖像。在光學圖像尋找視野，將觀察視野放大時會自動切換到 SEM 圖像。 ③實時能譜，在觀察畫面上可以同時顯示分析區域內的特征 X 射線譜圖和自動定性的主要構成元素。 ④4等分背散射電子檢測器，可以呈現成分襯度像和形貌像。 ⑤自動對焦、自動相散調整、自動對比度調整。 ⑥真空度選擇：對于不同的樣品可以選擇不同的真空度進行觀察，尤其對于不導電樣品可以采用低真空模式減小表面荷電。 |
樣品要求：
樣品最大尺寸要求：直徑80mm，高50mm；
預約說明：
該設備需預約使用，按預約時間計費，如有特殊情況請在預約時間開始之前與設備管理員聯系取消預約。單次預約時間開始30min后未使用該設備的默認放棄本次預約時間，其他用戶可以在該時間段使用本設備。需要管理員輔助的請選擇”需要管理員輔助“。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 上機收費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 200.0 |
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