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  • 發布時間:2018-08-23 13:56 原文鏈接: SEM真空系統

    SEM真空系統

     

    不同的燈絲,SEM真空系統的設計有所不同。在鎢燈絲系統中,燈絲的真空度受到運行狀態影響。例如,每次加載或卸載樣品時,都會有空氣進入真空柱,影響燈絲的使用壽命。觀察不導電樣品時,通常需要低真空,也會縮短燈絲壽命。對于CeB6系統,比如飛納電鏡,內置渦輪分子泵,采用分級真空系統,通過壓差光闌使得真空柱的各部分具有不同的真空度,保證燈絲時刻處于高真空的狀態下。這意味著,在低真空環境下加載和觀測樣品不會影響燈絲壽命。

     

    圖2:真空柱的截面圖與電子槍結構示意圖


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