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  • 單晶半導體材料的制備方法

    具體的制備方法有:①從熔體中拉制單晶:用與熔體相同材料的小單晶體作為籽晶,當籽晶與熔體接觸并向上提拉時,熔體依靠表面張力也被拉出液面,同時結晶出與籽晶具有相同晶體取向的單晶體。②區域熔煉法制備單晶:用一籽晶與半導體錠條在頭部熔接,隨著熔區的移動則結晶部分即成單晶。③從溶液中再結晶。④從汽相中生長單晶。前兩種方法用來生長體單晶,用提拉法已經能制備直徑為200毫米,長度為1~2米的鍺、硅單晶體。后兩種方法主要用來生長薄層單晶。這種薄層單晶的生長一般稱外延生長,薄層材料就生長在另一單晶材料上。這另一單晶材料稱為襯底,一方面作為薄層材料的附著體,另一方面即為單晶生長所需的籽晶。襯底與外延層可以是同一種材料(同質外延),也可以是不同材料(異質外延)。采用從溶液中再結晶原理的外延生長方法稱液相外延;采用從汽相中生長單晶原理的稱汽相外延。液相外延就是將所需的外延層材料(作為溶質,例如GaAs),溶于某一溶劑(例如液態鎵)成飽和溶液,然后將襯底......閱讀全文

    單晶半導體材料的制備方法

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    具體的制備方法有:①從熔體中拉制單晶:用與熔體相同材料的小單晶體作為籽晶,當籽晶與熔體接觸并向上提拉時,熔體依靠表面張力也被拉出液面,同時結晶出與籽晶具有相同晶體取向的單晶體。②區域熔煉法制備單晶:用一籽晶與半導體錠條在頭部熔接,隨著熔區的移動則結晶部分即成單晶。③從溶液中再結晶。④從汽相中生長單晶

    半導體材料的制備方法

    不同的半導體器件對半導體材料有不同的形態要求,包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導體材料的不同形態要求對應不同的加工工藝。常用的半導體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長。所有的半導體材料都需要對原料進行提純,要求的純度在6個“9”以上 ,最高達11個“9”以上。提純的方法分兩大類,一

    化合物半導體材料的制備方法

    通常采用水平布里奇曼法(HB)、液封直拉法(LEC)、高壓液封直拉法(HPLEC)、垂直梯度凝固法(VGF)制備化合物半導體單晶,用液相處延(LPE)、氣相處延(VPE)、分子束外延(MBE)、金屬有機物化學氣相沉積法(MOCVD)等制備它們的薄膜和超薄層微結構化合物材料。

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    半導體材料的提純方法

    提純方法可分化學法和物理法。化學提純是把材料制成某種中間化合物以便系統地除去某些雜質,最后再把材料(元素)從某種容易分解的化合物中分離出來。物理提純常用的是區域熔煉技術,即將半導體材料鑄成錠條,從錠條的一端開始形成一定長度的熔化區域。利用雜質在凝固過程中的分凝現象,當此熔區從一端至另一端重復移動多次

    半導體材料的提純方法

    半導體材料的提純“主要是除去材料中的雜質。提純方法可分化學法和物理法。化學提純是把材料制成某種中間化合物以便系統地除去某些雜質,最后再把材料(元素)從某種容易分解的化合物中分離出來。物理提純常用的是區域熔煉技術,即將半導體材料鑄成錠條,從錠條的一端開始形成一定長度的熔化區域。利用雜質在凝固過程中的分

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