電子顯微鏡成像系統

1、物鏡和消像散器

        物鏡是成像系統的*個成像透鏡。 —臺電子顯微鐐性能的好壞， 主要由物鏡的光學特性所決定。 物鏡的任何缺陷都將被成像系統中的其它透鏡進—步放大。 因此， 要求物鏡的像差盡可能小和有足夠高的放大倍數， 通常采用強激磁、 短焦距 （1.5-3mm） 的物鏡及物鏡光闌來降低球差。 由于光閑孔徑過小時， 會因衍射效成使物鏡降低分辨率和因光闡邊緣的污染效應使電子束的干擾較強， 因此光閑孔徑不能太小。

        消像散器是保證物鏡提高分辨率的—個重要部件。 它利用—個強度和方位可調節的嬌止磁場來校正物鏡非軸對稱引起的軸上像散。

        現在常用的電磁消像散器是由均勻裝在極靴間隙周圍的兩組四對電磁體所組成，每對電磁體均用同極相對的安置方式安裝， 通電流時，兩組電磁體分別形成的兩個橢圓形矯正滋場彼此垂直， 通過改變兩組電磁 的激磁強度和磁場方向— 便能形成—個非旋轉對稱的矯正磁場。 若其強度與透鏡像散場相等， 而方向互相垂直， 就起到了消除像散的作用 。

2、中間鏡和投影鏡

        中間鏡是一個長焦距可變放大倍數的弱磁透鏡。 極靴內孔較大， 放大倍數在0-20 之間。 當放大倍數大于1時它用來放大物鏡像； 當放大倍數小于1時， 它用來縮小物鏡像。

        投影鏡是—個短焦距的強磁透鏡， 使用 上 下對稱的小孔徑極靴— 用以得到大的放大倍數。 投影鏡具有因定的勵磁電流， 它起著將中問鏡像放大并投射到熒光屏上的作用。

3、 三級放大成儡

        電子顯微鏡的zui高放大倍數是由儀器性能、 照相底板 （或熒光屏） 的分辨率等因素決定的， 一般情況下— 二級放大成像系統可以獲得放大了20萬倍左右的電子像。 物鏡將試樣的細節放大100倍成像于物鏡像平而人中間鏡將物鏡的像放大20倍成像于投影鏡上； 投影鏡將中間鏡的像放大100倍成像于熒光屏上.。放大僧數的調節， 可通過改變中間鑲的勵as電流來實現。 中間鎮的勵磁電流變化后， 物鏡的勵破電流也要適當改變， 保證物鏡像平面與中間鑲物面熏合， 以便獲得聚姥清晰的像。
        在三級成像系統中， 若改變物就的勵磁電流， 則可使物鏡成像于中間鑲之下. 中間鏡以
物鏡像為 “虛物”， 將其形成為編小的實像于投影鏡物面A. 由投影鏡成像于熒光屏上， 這樣可得到放大了幾千至幾萬倍的電子像。用這種方法產生的圖像畸變，可以 由 中間鏡的桶形醋變與投影鑲的枕形醋變互相補償而降低。
        若關閉物鏡. 用中間鏡代替物鎮成像， 則放大倍數可降到 加100~300左右，能獲得視野較大的圖像。

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