碳化硅外延層厚度及其均勻性的無損檢測——紅外顯微系統
第三代半導體碳化硅材料快速發展近年來,5G通信、新能源汽車、光伏行業推動了第三代半導體材料碳化硅(SiC)技術的快速發展。相較于成熟的硅(Si)材料,SiC具有禁帶寬、擊穿電場高、電子飽和遷移率高、熱導率高等優良的物理化學特性,是制備高溫、高壓、高頻、大功率器件的理想材料,如電力轉換器、光伏逆變器、射頻放大器、濾波器等。碳化硅外延層及其厚度測定的重要性SiC功率器件往往需要通過在SiC 襯底上生成所需的薄膜材料形成外延片,從而更易于獲得完美可控的晶體結構,更利于材料的應用開發。隨著外延生長技術的進步,SiC外延層厚度也從幾μm發展到上百μm,也從同質外延發展為異質等多種晶體。對外延片品質影響最大的是外延層的厚度以及電阻率的均勻性,因此在實際生產中對延片的厚度進行測量是很重要的一環。碳化硅外延厚度測定原理在硅同質/異質外延生產中,紅外傅立葉變換光譜技術(FTIR)是測試硅外延層厚度一種非常成熟的方法,具有準確、快速、無損等優勢,非......閱讀全文
碳化硅外延層厚度及其均勻性的無損檢測——紅外顯微系統
第三代半導體碳化硅材料快速發展近年來,5G通信、新能源汽車、光伏行業推動了第三代半導體材料碳化硅(SiC)技術的快速發展。相較于成熟的硅(Si)材料,SiC具有禁帶寬、擊穿電場高、電子飽和遷移率高、熱導率高等優良的物理化學特性,是制備高溫、高壓、高頻、大功率器件的理想材料,如電力轉換器、光伏逆變器、
碳化硅外延層厚度及其均勻性的無損檢測——紅外顯微系統
第三代半導體碳化硅材料快速發展 近年來,5G通信、新能源汽車、光伏行業推動了第三代半導體材料碳化硅(SiC)技術的快速發展。相較于成熟的硅(Si)材料,SiC具有禁帶寬、擊穿電場高、電子飽和遷移率高、熱導率高等優良的物理化學特性,是制備高溫、高壓、高頻、大功率器件的理想材料,如電力轉換器、光伏
珍珠珠層厚度無損檢測研究有重大突破
從廣西質量技術監督局獲悉,2009年3月15日,該局承擔的“X射線和近紅外光珍珠珠層厚度無損檢測儀研究與應用”科技成果項目鑒定驗收會在廣西產品質量監督檢驗院召開。此次項目驗收鑒定會由廣西科技廳組織,全國有關方面的權威專家對項目進行了審定。 據了解,該課題技術在珍珠檢測領域具有較高的創新性。
SiC同質外延厚度分析
鈍化層分析 鈍化層作為保護層、絕緣層或抗反射層,在半 導體材料中扮演著重要的角色。 VERTEX 系列 光譜儀是分析鈍化層的理想工具,它可以實 現快速靈敏的無損分析。 磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析 分析SiN等離子層和Si-O基鈍化層 分析超低K層
激光測厚儀檢測鋼板厚度是否均勻
鋼板按厚度分,薄鋼板<4毫米(可到0.2毫米),中厚鋼板4~60毫米,特厚鋼板60~115毫米。薄板的寬度為500~1500毫米;厚的寬度為600~3000毫米。鋼板的厚度要保證均勻性,因此需要對其點數檢測的非常多,才能確保每部分的尺寸是否符合標準,人工檢測費時費力,并且對比較寬的鋼板測量也
手持直接操作便攜式無損鋼筋保護層厚度檢測儀器
鋼筋檢測儀概述; 該機為內置一體式探頭,無須連接引線,可手持直接操作是一種便攜式無損鋼筋保護層厚度檢測儀器。可用于鋼筋混凝土結構施工質量的檢測。能夠在混凝土表面確定鋼筋的位置、布筋情況,測量混凝土保護層厚度,此外也可對混凝土結構中的磁性體及導電體的位置進行檢測,如墻體內的電纜、水暖管道等,
傅里葉紅外光譜儀在第三代Sic半導體應用
據消息人士透露,我國計劃把大力支持發展第三代半導體產業,寫入正在制定中的“十四五”規劃,計劃在2021-2025年期間,在教育、科研、開發、融資、應用等等各個方面,大力支持發展第三代半導體產業,以期實現產業獨立自主。當前,以碳化硅為代表的第三代半導體已逐漸受到國內外市場重視,不少半導體廠商已率
常用無損檢測方法及其應用
? 在現代化企業的質量檢驗中針對不同產品、材料、結構選擇何種無損檢測方法已成為企業領導和工程技術人員關注的問題。要解決好這個問題,就必須對無損檢測方法及其特征有較全面、科學的了解。下面簡要介紹這些常用方法的特征,供有關人員參考。??? 所謂無損檢測,是在不損傷材料和成品的條件下研究其內部和表面有無缺
響應設備更新政策-|-半導體制造工藝、結構與表征解決方案
半導體制造工藝電動汽車等高新技術領域對高效動力轉換的需求與日俱增,碳化硅與氮化鎵材料扮演關鍵性角色,有效降低能耗并提升動力轉換效率。牛津通過原子層沉積(ALD)與原子層刻蝕(ALE)技術優化了器件工藝。ALD工藝出色的 AlN/Al2O3/SiO2?鈍化薄膜有效降低器件中的閾值電壓漂移。而ALE低損
簡述檢測覆層厚度使用無損檢測方法的用意是什么
無損檢測技術是一門理論上綜合性較強,又非常重視實踐環節的很有發展前途的學科。它涉及到材料的物理性質、產品設計、制造工藝,斷裂力學以及有限元計算等諸多方面。在化工、電子、電力、金屬等行業中,為了實現對各類材料的保護或裝飾作用,通常采用噴涂有色金屬覆蓋以及磷化、陽極氧化處理等方法,這樣便出現了涂層、鍍層
高壓碳化硅解決方案:改善4HSiC晶圓表面的缺陷問題1
碳化硅(SiC)在大功率、高溫、高頻等極端條件應用領域具有很好的前景。但盡管商用4H-SiC單晶圓片的結晶完整性最近幾年顯著改進,這些晶圓的缺陷密度依然居高不下。經研究證實,晶圓襯底的表面處理時間越長,則表面缺陷率也會跟著增加。 碳化硅(SiC)兼有寬能帶隙、高電擊穿場強、高熱導率、高
無損檢測技術的發展及其研究領域
無損檢測又可以稱為非破壞檢查(NDINONDESTRUCTIVE INSPECTION)。目的是為了實現對各種材料和器件的檢查而又不對其原有的各種屬性造成破壞。與此相近的概念還有非破壞評價(NDE)技術及非破壞試驗(NDT)技術。目前世界各國對NDI技術的發展也極為重視。在加拿大、英國、美國、新
光電所在光學薄膜厚度均勻性控制技術方面取得進展
中國科學院光電技術研究所深紫外鍍膜課題組在光刻機鏡頭鍍膜技術上取得一系列進展,提出并實現了數種提高光學薄膜厚度均勻性的辦法,克服了大口徑大曲面鏡頭上薄膜厚度均勻性控制的難題。 光刻機鏡頭中包含大量的曲面光學鏡頭,隨著光刻機數值孔徑增大,部分光學鏡面的口徑增大且形狀逐步接近于半球,鏡面上鍍膜后的
防腐層測厚儀如何測試厚度
防腐層測厚儀如何測試厚度磁性測厚法? ? ?(防腐層測厚儀)適用導磁材料上的非導磁層厚度測量。導磁材料一般為:鋼\鐵\銀\鎳。此種方法測量精度高。渦流測厚法? ? ?(防腐層測厚儀)適用導電金屬上的非導電層厚度測量,此種方法較磁性測厚法精度低。超聲波測厚法? ? ? 目前國內還沒有用此種方法測量涂鍍
銅排寬度、厚度及包膠厚度同時檢測的測量系統研發
引言銅排又稱銅母排或銅匯流排,是由銅材質制作的,截面為矩形或倒角(圓角)矩形的長導體(現在一般都用圓角銅排,以免產生尖端放電),在電路中起輸送電流和連接電氣設備的作用。銅排是一種大電流導電產品,適用于高低壓電器、開關觸頭、配電設備、母線槽等電器工程,也廣泛用于金屬冶煉、電化電鍍、化工燒堿等超大電流電
卡爾蔡司發布激光層照顯微系統
卡爾蔡司激光層照顯微系統(Lightsheet Z.1) ――低光毒性的大型生物活體樣本的三維熒光成像 2012年10月15日 德國,耶拿 / 美國,新奧爾良 在路易斯安那州新奧爾良的神經科學年度會議上,卡爾蔡司的顯微鏡事業部提出了一項新的顯微技術,即激光層照顯微鏡(Light
保溫層下腐蝕的四種無損檢測方法
有很多文獻和資料充分證明,保溫層下腐蝕(CUI)是一種非常常見卻又非常復雜的現象,發現這種腐蝕是非常困難的,并且需要耗費大量的時間和經濟成本。保溫層下腐蝕是指外部被保溫層覆蓋的管道或設備,由于水分和腐蝕性物質的進入而發生的腐蝕現象。這種腐蝕一般很難發現,是因為它通常隱藏在保溫層下面,傳統的檢測方法是
無損檢測系統的測試技術有哪些?
? 無損檢測系統的原理是什么?為什么必須進行無損檢測?所謂無損,即非破壞性測試,這是利用材料的聲音、光、磁和電特性來檢測被檢對象中是否存在缺陷或不均勻性,而不損壞或影響被檢對象的性能,從而給出缺陷的大小和位置、性質和數量。與破壞性測試相比,非破壞性測試具有以下特點: 1、是非破壞性的,因為它在測試
無損檢測系統的測試技術有哪些?
無損檢測系統的原理是什么?為什么必須進行無損檢測?所謂無損,即非破壞性測試,這是利用材料的聲音、光、磁和電特性來檢測被檢對象中是否存在缺陷或不均勻性,而不損壞或影響被檢對象的性能,從而給出缺陷的大小和位置、性質和數量。與破壞性測試相比,非破壞性測試具有以下特點: 1、是非破壞性的,因為它在測試時
快速無損測量鍍層厚度的膜厚儀
博曼BA-100XRF膜厚儀相比傳統的切片或庫侖分析法,擁有智能化的設計與強大的分析功能,普通準直器儀器可在20-30秒測量分析出鍍層厚度,而毛細管光學結構儀器可在2-5秒內快速無損檢測出數據。性能強大更加便利。博曼BA-100膜厚儀測量是將涂層電鍍到金屬零件上的制造商的要求,因為儀器可確保質量,B
X射線工業CT無損檢測系統
X射線工業CT無損檢測系統是一種用于材料科學領域的分析儀器,于2014年12月26日啟用。 技術指標 最大管電壓:600kV,最大功率:1500kW;穿透能力: Al (密度2.7):≥ 250 mm;Fe(密度7.8):≥ 90 mm SiC 陶瓷(密度3.2 g/cm3):≥ 180 m
天域半導體港交所遞交招股書
天域半導體是一家第三代半導體碳化硅外延片制造商,公司擁有外延層厚度分析儀、表面粗糙度分析儀等設備,主要產品有碳化硅外延晶片材料、集裝晶片、單片等;此外公司還為用戶提供外延晶片測試及定制化服務。今日天域半導體港交所遞交招股書。
高壓碳化硅解決方案:改善4HSiC晶圓表面的缺陷問題2
其他儀器方面,本實驗使用Nanometrics公司的Stratus傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR)測量樣品厚度。表面分析實驗則使用Dimension 3100原子力顯微鏡(AFM)。顯微鏡為接觸測量模式,裝備一個單晶矽針尖。為取得更大的掃描區域,掃描尺寸是90×90μm2,掃描
大氣邊界層和大氣邊界層厚度的定義
大氣最底層,靠近地球表面、受地面摩擦阻力影響的大氣層區域。大氣流過地面時,地面上各種粗糙物體,如草、沙粒、莊稼、樹木、房屋等會使大氣流動受阻,這種摩擦阻力由于大氣中的湍流而向上傳遞,并隨高度的增加而逐漸減弱,達到某一高度后便可忽略。此高度稱為大氣邊界層厚度,它隨氣象條件、地形、地面租糙度而變化,大致
紅外壓片的厚度是多少
操作步驟 一、稱取適量份數的KBr,每份約為200mg,可適量多準備些。 二、用鑷子擠壓稱量杯內的溴化鉀,以保證溴化鉀不結塊,顆粒均勻。 三、把溴化鉀放在強光源下烘烤,以保證溴化鉀干燥無水分,烘烤時間一般在三小時左右。 四、更換紅外儀內的干燥劑,紅外儀提前預熱半小時以上,打開電腦
鋁箔層厚度檢測方案三泉中石金屬鍍層測厚儀
桶裝薯片包裝的鋁箔層厚度檢測方案三泉中石金屬鍍層測厚儀摘要:塑料薄膜或紙張表面(單面或雙面)鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄膜,它廣泛地用來代替鋁箔復合材料如鋁箔/塑料、鋁箔/紙等使用。隨著科技的發展真空蒸鍍金屬薄膜的使用越來越廣泛,主要用于風味食品、農產品的真空包裝,以及藥品、化妝品、香煙的包裝。
島津半導體領域全面解決方案,助力中國“芯”未來
導讀近年來,國內芯片生產力呈爆發式增長。據海關總署數據顯示:2024年前七個月,中國芯片出口總額達到6409.1億元,超過汽車、手機、家電等傳統出口項目,僅次于船舶,是國內第二大出口產業。更為重要的是,在7nm以上芯片上,國內已經形成了完整的產業鏈和配套設施,芯片產業的自給率從十年前的不足10%,提
QT2011-群落冠層紅外溫度監測系統
咨詢電話010-62111054簡單介紹:QT-2011 群落冠層紅外溫度監測系統是我司應用戶需求自主研發的集成系統,采用進口紅外測溫傳感器及數據采集器。QT-2011 群落冠層紅外溫度監測系統實現葉面溫度同步測量,取得作物葉面同一時間針對不同太陽入射角度的表面溫度差異性數據,對研究作物生長相關因子
【全面洞察,深度剖析】島津X射線CT系統與紅外顯微鏡聯合,賦能ADAS汽車部件無損檢測
X射線CT系統能夠對樣品的內部結構進行無損三維觀察,所以它可用于檢驗產品的內部質量,在本案例中能夠評估粘合劑中的孔隙并對內置部件進行測量。使用紅外顯微鏡可以對樹脂材料和零部件的粘合劑等有機物進行定性分析。?引言ADAS(高級駕駛輔助系統)是用于支持安全駕駛的系統,通過監測汽車周圍的環境,轉換成可視化
影響無損檢測可靠性的因素
無損檢測技術在質量保證系統中發揮的作用越來越顯示它的重要性和必要性,成為控制產品質量、保證在役設備安全運行的重要手段。然而它的重要作用有賴于無損檢測方法選擇的正確和檢測結果是否可靠,從產品質量觀點看這是重要的,從純經濟觀點講,為了減少總費用支出,可靠性亦是必要的。近年來,由于產品市場的相互競爭,