eds和點掃區別

如果要分析材料微區成分元素種類與含量，往往有多種方法，打能譜就是我們最常用的手段。

能譜具有操作簡單、分析速度快以及結果直觀等特點，最重要的是其價格相比于高大上的電鏡來說更為低廉，因此能譜也成為了目前電鏡的標配。

能譜EDS的采樣深度大約為1 μm，可對試樣微區內Be~U范圍內的元素進行分析。根據掃描方式的不同可分為點掃、線掃和面掃。點掃和線掃都是對樣品的某一位置進行微區元素分析，兩者區別是掃描能譜的面積大小不一。點掃可以給出掃描元素的相對含量，測試準確性較高，常用于顯微結構的成分分析。面掃是對樣品某一區域的元素分布進行觀察。

EDS點掃
EDS 點分析是將電子束固定于樣品中某一點上，進行定性或者定量的分析。如圖1所示是能譜點掃給出的峰型圖，每一種元素在圖中會出現一種峰，由此可以看出樣品中所含有的元素，同時，也會相對應的給出如表1所示的元素相對含量表，表中數據展示了相對質量分數和相對原子分數及誤差，誤差越大表示元素的相對含量可信度越低。

如上圖1 對樣品的某一位置進行能譜點掃得到的元素圖

表1樣品的相對元素含量

EDS 線掃
EDS 線掃描分析是電子束沿一條線對樣品進行掃描，能得到元素含量變化的線分布曲線。結合樣品形貌像對照分析，能直觀獲得元素在不同區域的分布情況。圖2可以看出，元素含量的差異與形貌結合可以分析樣品結構上的差異。

圖2對樣品進行線掃的結果圖

EDS 面掃
EDS 面掃描分析是電子束在樣品表面掃描，試樣表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表現出來，常用來做定性分析。亮度越高，元素含量越高，結合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。從圖3中可以看出元素分布的差異，結合形貌圖對樣品進行定性分析。