我國首次建立納米級角度國家一級標準物質

記者8日了解到，市場監管總局近日新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質，能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

研制高精度的納米級標準物質，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。 二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數，角度絕對準確性在0.001°量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。

二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm×300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復使用測量區域次數可達20000次以上。

可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準；

也可應用于對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。

納米級角度標準物質的研制成功，實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。