國家863計劃“6英寸SOIMEMS標準加工技術及應用”驗收
4月9日，中國電子科技集團公司第十三研究所承擔的863計劃先進制造技術領域項目“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。驗收會由科技部高技術研究發展中心組織，來自東南大學、北京大學、北京理工大學、同濟大學、中北大學、長春光機所的相關專家參加了會議。 該項目針對航空航天、汽車、地質勘探、物聯網等高端市場對高性能MEMS器件的迫切需求，突破了高精度體硅SOI結構關鍵工藝技術、體硅SOI圓片級封裝技術、微小參數圓片級自動測試及低應力封裝等關鍵技術，建立了圓片級在片測試系統，形成了適用于高性能MEMS器件加工的6英寸SOI MEMS標準工藝，實現了批量封裝生產。 目前，6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術已經用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，已為國內多家MEMS設計單位提供了批量加工服......閱讀全文
國家863計劃“6英寸SOI－MEMS標準加工技術及應用”驗收
4月9日，中國電子科技集團公司第十三研究所承擔的863計劃先進制造技術領域項目“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。驗收會由科技部高技術研究發展中心組織，來自東南大學、北京大學、北京理工大學、同濟大學、中北大學、長春光機所的相關專家參加了
RF前端需要怎樣的工藝和技術？（三）
解決方案今天，手機的功率放大器主要使用砷化鎵（GaAs）技術。幾年前，OEM從GaAs和藍寶石（SoS）遷移到RF開關的RF SOI。GaAs和SoS是SOI的一個變體，它們變得太貴了。RF SOI不同于完全耗盡型SOI（FD－SOI），適用于數字應用。與FD－SOI類似，RF SOI的襯底
RF前端需要怎樣的工藝和技術？（一）
RF器件和工藝技術的市場正在升溫，特別是對于智能手機中使用的兩個關鍵組件——RF開關器件和天線調諧器。RF器件制造商及其代工合作伙伴繼續推出基于RF SOI工藝技術的傳統RF開關芯片和調諧器，用于當今的4G無線網絡。最近，GlobalFoundries為未來的5G網絡推出了45nm RF S
SOI集成電路的封裝特點
SOI(small out-line I-leaded package)I 形引腳小外型封裝。表面貼裝型封裝之一。引腳從封裝雙側引出向下呈I 字形，中心 距 1.27mm。貼裝占有面積小于SOP。日立公司在模擬IC(電機驅動用IC)中采用了此封裝。引 腳數 26。
射頻MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控陣雷達、衛星通信、移動通信設備中的核心組件，它的工作頻帶、插入損耗直接影響著這些設備的抗干擾能力和靈敏度，以及系統的重量、體積和成本，因此研究寬帶、低插損的移相器在軍事上和民用衛星通信領域具有重要的意義。近年來，隨著RF MEMS開關的研究不斷取得進展，使MEMS開關替代
MEMS－CHINA－2012－展會預告
MEMS CHINA 2012 展會預告 鉑悅儀器將于2012年6月11-13日參加在上海光大會展中心(上海徐匯區漕寶路66號)舉辦的MEMS CHINA 2012，展位號：207，屆時將展出布魯克臺階儀，光學輪廓儀、牛津激光鉆孔機、 金相研磨切割機等。歡迎您蒞臨參觀! 展會具體
MEMS激光掃描投影技術
你能想象現在的科學技術已經可以把之前幾十公斤重的激光雷達塞進一塊比指甲蓋還小的芯片中而且還能完成同樣的工作嗎?利用新世紀的集成電路和 3D 加工技術，一塊小小的芯片能夠承載比我們以往任何時代都多的功能，而這一技術的潛在應用領域也讓芯片業巨頭擠破了頭去收購相關技術。 2012 年，微機電系統(MEM
MEMS振蕩器的特點
特點與傳統石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產工藝還是組件設計結構上，都更符合現代電子產品的標準，也是對傳統石英產品的升級換代。* 高性能模擬溫補技術使全硅MEMS振蕩器具有優秀的全溫頻率穩定性，徹底解除溫飄問題；* 可編程的平臺為系統設計和縮短新產品開發周期提供必要的靈活性；* 完善的半導體生產
MEMS振蕩器的介紹
MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器。中文名 MEMS振蕩器 外文名 MEMS oscillator介紹MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說的有源晶振。它是對傳統石英晶振產品的一個升級更新換代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動影響
MEMS振蕩器的目標
目標MEMS振蕩器可以利用現有硅半導體行業所使用的制造技術和設備，讓半導體行業能在代工環境中集成MEMS。Sitime公司將以MEMSFirst技術進入時鐘管理器件市場，下一代集成度更高的解決方案將包括MEMS振蕩器和在同一硅晶圓上制造的超大規模集成電路控制功能。Sitime公司已與Jazz半導體公
上海微系統所舉辦首期“新微技術論壇”
12月3日至4日，由中科院自動化所、中國計算機學會和中國人工智能學會聯合主辦、自動化所模式識別國家重點實驗室承辦的第六屆中國生物識別學術會議在北京成功召開，來自國內外30多所高校和科研院所的100名科研人員共聚一堂，交流和探討了人臉、虹膜、指紋、掌紋、步態、靜脈、語音等多種模態生物特征識別的前沿
基于MEMS磁傳感器設計及制作（一）
由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響，因此磁傳感器在工業設備和電子儀器中有著廣泛的應用，如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業、煤礦勘探、電流測量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應力檢測等方面。為了滿足不同場合的應用，已根據不同傳感原理制備了相應的磁傳感器，常見的有超導量子干涉裝置（
直播預告|中國科學院上海微系統所研究員李鐵報告
直播時間：2024年8月9日（周五）20:00-21:30直播平臺：科學網APPhttps://weibo.com/l/wblive/p/show/1022:2321325065465381912667（科學網微博直播間鏈接）科學網微博科學網視頻號北京時間2024年8月9日晚八點，iCANX Tal
除了低功耗與低成本－FDSOI還有什么優勢？（二）
沈磊表示，與FinFET工藝相比，FD-SOI工藝所需掩膜版更少，費用更節省，出片也更快。設計方案從體硅工藝遷移也更簡便快捷。 IBS 首席執行官Handel Jones則比較了16/14納米FinFET與14納米FD SOI的晶圓成本與單位晶體管成本，根據他的計算，14納米FD-SO
除了低功耗與低成本－FDSOI還有什么優勢？（一）
“多年以后我們寫半導體發展史的話，28納米節點一定是濃墨重彩的一筆，它背后有很多的故事。”在2016 FD-SOI論壇上，復旦微電子總工程師沈磊如是說。的確，28納米以后邏輯工藝開始分岔：立體工藝FinFET由于獲得英特爾與臺積電的主推成為主流，14/16納米都已量產，10納米工藝也
八英寸SOI/鈮酸鋰異質集成技術新進展
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2024/3/519020.shtm近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所（以下簡稱微系統所）硅基材料與集成器件實驗室研究員蔡艷、歐欣合作，利用上海微技術工業研究院標準180 nm硅光工藝在八英寸 SOI上制備了硅光
壓電MEMS超聲波換能器設計（一）
本文為OnScale與Mentor合作推出，由行業專家撰寫，文章詳細介紹了壓電MEMS超聲波換能器產品的設計過程，包括傳感器的仿真、設計以及它與整個系統的集成。了解系統我們正在開發一種槽罐液位監測系統。該系統可以安裝在啤酒廠、釀酒廠和其他飲料廠的物聯網邊緣設備中，用以收集液位的狀態，并可主動通知技術
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（一）
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡的研究何嘉輝1,2,?周鵬2,?余暉俊2,?沈文江2,?司金海1????摘要：基于微機電系統工藝，設計并制作了一種電磁驅動大尺寸的二維掃描振鏡.分析了兩種不同的電磁驅動方式產生的力的大小，選擇驅動力較大的雙極子方式作為驅動.運用有限元法模擬了器件的諧振頻率靜態及動態響應，
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（二）
掃描振鏡的運動過程可以采用質量-阻尼-彈簧的二階振動系統方程來表達，運動方程為T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T為驅動力力矩，Im為振鏡的轉動慣量，C為阻尼系數，Ks為扭轉軸的彈性常量，θ為轉動角度.扭轉軸的彈性常量計算公式為Ks=2[5.33?3.36ba(1?b412a4)]ab3GLf
壓電MEMS超聲波換能器設計（二）
當微控制器設置SR鎖存器時，飛行時間（ToF）功能啟動，SR鎖存器開始在采樣保持積分器上累積電荷。同時，微控制器按PMUT設計的諧振頻率產生一系列脈沖（122kHz）。因為核心電源電壓為2.5V，而根據PMUT的要求必須升高至32V，所以使用電荷泵DC-DC轉換器和數字電平轉換器將脈沖放大至
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（三）
4 振鏡的測試MEMS掃描鏡掃描角度的測量原理為激光三角法[13]，即當一束激光照射至掃描鏡表面，當掃描鏡靜止時，激光會發生反射，同時在接收屏上形成激光光斑，當掃描鏡振動時，激光光斑變為一條直線.若掃描鏡到接收屏的距離為S，掃描線的長度為L，掃描線頂端到基準點的距離為H，則掃描角度可以表示為θmax
MEMS陀螺儀應用與原理介紹
一定的初始條件和一定的外在力矩作用下，陀螺會在不停自轉的同時，還繞著另一個固定的轉軸不停地旋轉，這就是陀螺的旋進（precession），又稱為回轉效應（gyroscopic effect）。??? 陀螺儀的種類很多，按用途來分，它可以分為傳感陀螺儀和指示陀螺儀。傳感陀螺儀用于飛行體運動的自動控制系
一種基于SOI量子點異質結的紅外探測器
紅外探測對環境的適應性優于可見光，可在夜間及惡劣環境下工作，且紅外探測隱蔽性好，比雷達和激光探測更安全，對偽裝目標識別率更高，此外與雷達系統相比，紅外系統具有體積小、重量輕、功耗低等優點，因此在軍事上紅外探測可應用于紅外夜視、紅外制導、紅外偵查、紅外報警等應用；紅外探測技術不僅在軍事方面有很多應用，
上海微系統所在300－mm－SOI晶圓制造技術方面實現突破
近日，上海微系統所魏星研究員團隊在300 mm SOI晶圓制造技術方面取得突破性進展，制備出了國內第一片300 mm 射頻（RF）SOI晶圓。團隊基于集成電路材料全國重點實驗室300 mm SOI研發平臺，依次解決了300 mm RF-SOI晶圓所需的低氧高阻晶體制備、低應力高電阻率多晶硅薄膜沉
國家基金委領導現場考核上海微系統所創新群體項目
考核會現場 10月26日，國家自然科學基金委副主任孫家廣院士一行九人對中科院上海微系統與信息技術研究所創新研究群體項目“微納系統材料、制造與器件物理”進行了現場考核。上海微系統所長王曦院士等群體項目參與人員參加了現場考核會。 封松林研究員代表創新群體項目組在納米材料與納米效應、高
近物所離子聯合注入單晶硅制備SOI材料研究獲進展
中科院近代物理研究所科研人員將320 kV高壓平臺提供的氦離子和氧離子聯合注入單晶硅，研究氦離子注入所導致的氦泡和納米空腔與氧原子的相互作用機理，獲得進展。 實驗中，科研人員首先向單晶硅中注入30 keV、3×1016/cm2的氦離子，然后將樣品切成兩塊：一塊做退火處理，退火溫
MEMS技術在海洋觀測中的應用（二）
二、MEMS現狀基于各種原因，許多MEMS產品在商業上取得了巨大成功，其中許多器件已經獲得廣泛應用。汽車工業是MEMS技術的主要驅動力之一。例如MEMS振動結構陀螺儀，是一款新的相當便宜的設備，目前用于汽車防滑或電子穩定控制系統中。村田電子的SCX系列MEMS加速度計、陀螺儀和傾斜儀，以及將這些功能
物聯網與MEMS應用論壇在上海召開
第四屆微米納米技術創新與產業化國際研討展覽會暨物聯網與MEMS應用論壇在上海召開 11月23至24日，由國家發展和改革委員會、科技部、高技術研究發展項目（863項目）、國家自然科學基金委、中國儀器儀表學會暨微納器件與系統技術分會、上海物聯網中心共同主辦, 中國科學院上海微系統與信息
MEMS振蕩器技術及其應用研究
隨著電子系統小型化、集成化的速度不斷加快,對小型化、可集成的高性能振蕩器的研究成為熱點。而MEMS諧振器以其高Q值、可集成、抗沖擊性好等優點,為研制出小型化、可集成的高性能振蕩器提供了可能。由于MEMS諧振器的動態阻抗和Q值對MEMS振蕩器的設計與性能有著重要的影響,本文以得到低動態阻抗和高Q值ME
后疫情時代，中國MEMS企業如何破局？
后疫情時代，中國MEMS企業如何破局？且看中國MEMS制造大會！? ? ? ?2022年，珠三角、長三角、京津冀地區半導體產業接連受新冠疫情影響，帶來汽車電子、消費電子類芯片產能極度緊缺，可謂“一芯難求”，同時也給國內半導體、MEMS領域中小企業的生存帶來極大的挑戰。既是挑戰，亦是機遇，如何在后疫情