研究人員制備成功RFMEMS振蕩器
中國科學院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心，在自然科學基金、中科院項目的支持下，經過努力探索，制備成功RF MEMS振蕩器。 基于微納諧振器的MEMS振蕩器，具有高頻、高品質因子(>103)，可與IC電路在同一芯片集成，實現系統小型化，在軍民兩用高技術領域具有非常廣泛的應用。 中國科學院半導體研究所成功制作了高性能全硅MEMS振蕩器，基頻達149MHz，高階頻率達868MHz，大氣中品質因子>8000，相位噪聲在1kHz達到-68dBc/Hz，10kHz達到-95 dBc/Hz，短期頻率穩定度小于±1 ppm，中期頻率穩定度-5 ppm --2 ppm。全硅MEMS振蕩器比石英晶振在性能、體積和生產成本方面明顯占優，更符合現代電子產品的標準。全球時脈市場規模達50億美元，目前MEMS振蕩器市場占有率在4%以下，但預估2013～2015年，將有高達100%的年增長率。 ......閱讀全文
MEMS振蕩器的介紹
MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器。中文名 MEMS振蕩器 外文名 MEMS oscillator介紹MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說的有源晶振。它是對傳統石英晶振產品的一個升級更新換代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動影響
MEMS振蕩器的特點
特點與傳統石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產工藝還是組件設計結構上，都更符合現代電子產品的標準，也是對傳統石英產品的升級換代。* 高性能模擬溫補技術使全硅MEMS振蕩器具有優秀的全溫頻率穩定性，徹底解除溫飄問題；* 可編程的平臺為系統設計和縮短新產品開發周期提供必要的靈活性；* 完善的半導體生產
MEMS振蕩器的目標
目標MEMS振蕩器可以利用現有硅半導體行業所使用的制造技術和設備，讓半導體行業能在代工環境中集成MEMS。Sitime公司將以MEMSFirst技術進入時鐘管理器件市場，下一代集成度更高的解決方案將包括MEMS振蕩器和在同一硅晶圓上制造的超大規模集成電路控制功能。Sitime公司已與Jazz半導體公
MEMS振蕩器技術及其應用研究
隨著電子系統小型化、集成化的速度不斷加快,對小型化、可集成的高性能振蕩器的研究成為熱點。而MEMS諧振器以其高Q值、可集成、抗沖擊性好等優點,為研制出小型化、可集成的高性能振蕩器提供了可能。由于MEMS諧振器的動態阻抗和Q值對MEMS振蕩器的設計與性能有著重要的影響,本文以得到低動態阻抗和高Q值ME
研究人員制備成功RF－MEMS振蕩器
中國科學院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心，在自然科學基金、中科院項目的支持下，經過努力探索，制備成功RF MEMS振蕩器。 基于微納諧振器的MEMS振蕩器，具有高頻、高品質因子(>103)，可與IC電路在同一芯片集成，實現系統小型化，在軍民兩用高技術領域具有非常廣泛的應用。
mems振蕩器到底是不是傳感器？
電路當中，實現分頻比較容易，倍頻的話，就會產生噪聲，所以MENS硅在高速通信系統中無法使用。石英振蕩器振蕩的頻率源來自石英，石英可以產生壓電效應，是一種高值元件，振蕩頻率非常穩定，但是，如果同樣對這樣的頻率進行倍頻，也會產生噪聲，總之，倍頻會產生更多的噪音，更何況硅諧振源本身與石英振蕩源比較，還是稍
MEMS振蕩器與傳統石英晶振的區別
Sitime全硅MEMS振蕩器的實現原理完全不同于以往的石英晶振，因此它可以克服現有石英晶振的很多先天劣勢。Sitime全硅MEMS振蕩器與傳統石英晶振的比較，有哪些優勢呢？采用全硅MEMS技術所帶來的優勢：1、體積優勢石英晶振的振蕩頻率受石英晶體的體積所限，而要切割微小體積的石英晶體非常困難，且石
石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的特性比較
在構建各種電子設備及通信系統設備等過程中，振蕩器作為信號源，其選擇十分重要，將直接影響系統本身的性能。本次對以下兩種振蕩器用于基準信號源時的必要特性進行實際測試，通過性能比較進行說明：1、石英晶體單元為波源的基波振蕩器；2、以硅諧振單元為波源且使用鎖相環（ PLL）的全硅 MEMS 振蕩器。振蕩器的
射頻MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控陣雷達、衛星通信、移動通信設備中的核心組件，它的工作頻帶、插入損耗直接影響著這些設備的抗干擾能力和靈敏度，以及系統的重量、體積和成本，因此研究寬帶、低插損的移相器在軍事上和民用衛星通信領域具有重要的意義。近年來，隨著RF MEMS開關的研究不斷取得進展，使MEMS開關替代
MEMS－CHINA－2012－展會預告
MEMS CHINA 2012 展會預告 鉑悅儀器將于2012年6月11-13日參加在上海光大會展中心(上海徐匯區漕寶路66號)舉辦的MEMS CHINA 2012，展位號：207，屆時將展出布魯克臺階儀，光學輪廓儀、牛津激光鉆孔機、 金相研磨切割機等。歡迎您蒞臨參觀! 展會具體
MEMS激光掃描投影技術
你能想象現在的科學技術已經可以把之前幾十公斤重的激光雷達塞進一塊比指甲蓋還小的芯片中而且還能完成同樣的工作嗎?利用新世紀的集成電路和 3D 加工技術，一塊小小的芯片能夠承載比我們以往任何時代都多的功能，而這一技術的潛在應用領域也讓芯片業巨頭擠破了頭去收購相關技術。 2012 年，微機電系統(MEM
振蕩器的類型：單片機中的振蕩器用途
時鐘振蕩器是電氣工程的基礎，這些組件在以下設備中起著至關重要的作用：中央處理器、通信總線、音頻發生器、頻率合成器、RF系統和外圍設備。然而，時鐘振蕩器電路的主要功能和關鍵功能之一是控制單片機中數字處理器的速度。你可以在單片機的內部電路中找到時鐘振蕩器，以控制處理器的運行速度。振蕩器電路會產生方波
壓電MEMS超聲波換能器設計（一）
本文為OnScale與Mentor合作推出，由行業專家撰寫，文章詳細介紹了壓電MEMS超聲波換能器產品的設計過程，包括傳感器的仿真、設計以及它與整個系統的集成。了解系統我們正在開發一種槽罐液位監測系統。該系統可以安裝在啤酒廠、釀酒廠和其他飲料廠的物聯網邊緣設備中，用以收集液位的狀態，并可主動通知技術
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（二）
掃描振鏡的運動過程可以采用質量-阻尼-彈簧的二階振動系統方程來表達，運動方程為T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T為驅動力力矩，Im為振鏡的轉動慣量，C為阻尼系數，Ks為扭轉軸的彈性常量，θ為轉動角度.扭轉軸的彈性常量計算公式為Ks=2[5.33?3.36ba(1?b412a4)]ab3GLf
MEMS陀螺儀應用與原理介紹
一定的初始條件和一定的外在力矩作用下，陀螺會在不停自轉的同時，還繞著另一個固定的轉軸不停地旋轉，這就是陀螺的旋進（precession），又稱為回轉效應（gyroscopic effect）。??? 陀螺儀的種類很多，按用途來分，它可以分為傳感陀螺儀和指示陀螺儀。傳感陀螺儀用于飛行體運動的自動控制系
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（三）
4 振鏡的測試MEMS掃描鏡掃描角度的測量原理為激光三角法[13]，即當一束激光照射至掃描鏡表面，當掃描鏡靜止時，激光會發生反射，同時在接收屏上形成激光光斑，當掃描鏡振動時，激光光斑變為一條直線.若掃描鏡到接收屏的距離為S，掃描線的長度為L，掃描線頂端到基準點的距離為H，則掃描角度可以表示為θmax
壓電MEMS超聲波換能器設計（二）
當微控制器設置SR鎖存器時，飛行時間（ToF）功能啟動，SR鎖存器開始在采樣保持積分器上累積電荷。同時，微控制器按PMUT設計的諧振頻率產生一系列脈沖（122kHz）。因為核心電源電壓為2.5V，而根據PMUT的要求必須升高至32V，所以使用電荷泵DC-DC轉換器和數字電平轉換器將脈沖放大至
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡（一）
電磁驅動大尺寸MEMS掃描鏡的研究何嘉輝1,2,?周鵬2,?余暉俊2,?沈文江2,?司金海1????摘要：基于微機電系統工藝，設計并制作了一種電磁驅動大尺寸的二維掃描振鏡.分析了兩種不同的電磁驅動方式產生的力的大小，選擇驅動力較大的雙極子方式作為驅動.運用有限元法模擬了器件的諧振頻率靜態及動態響應，
半導體所在微機電射頻諧振器件研究方面取得系列進展
在科技部和中國科學院的大力支持下，半導體研究所集成技術工程研究中心相關課題組多年來致力于射頻諧振器件以及相關的測試表征系統的研制工作，在諧振器構型、微納加工工藝、器件測試方法研究和測試系統組建等方面取得了系列科研進展。 微機電系統(MEMS)是指利用微納加工技術制作的、同時具有機
20點直播︱遇見MEMS領域大牛Mark教授
直播時間：11月11日（周四）20:00直播地址：科學網新浪微博直播間 掃碼進入科學網新浪微博直播間觀看直播 科學網微信視頻號將同步直播 2021年11月11日（周四）晚8點（北京時間），大家期待已久的iCANX Story第23期即將重磅來襲，本期做客《大師故事》的嘉賓是微機電系統ME
MEMS技術在海洋觀測中的應用（二）
二、MEMS現狀基于各種原因，許多MEMS產品在商業上取得了巨大成功，其中許多器件已經獲得廣泛應用。汽車工業是MEMS技術的主要驅動力之一。例如MEMS振動結構陀螺儀，是一款新的相當便宜的設備，目前用于汽車防滑或電子穩定控制系統中。村田電子的SCX系列MEMS加速度計、陀螺儀和傾斜儀，以及將這些功能
MEMS技術在海洋觀測中的應用（三）
三、MEMS的應用領域MEMS器件和系統具有體積小、重量輕、功耗低、成本低、可靠性高、性能優異、功能強大、可以批量生產等傳統機械無法比擬的優點， 在很多領域得到廣泛的應用。⒈ 信息業信息技術的發展，對設備提出了更高的要求，功能更加強大的同時體積縮小。從多媒體人機界面（HI）看，使用微麥克風的
MEMS技術在海洋觀測中的應用（一）
微機電系統（MEMS），在歐洲也被稱為微系統技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術批量制作的、集微型傳感器、微型機構、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米--1
物聯網與MEMS應用論壇在上海召開
第四屆微米納米技術創新與產業化國際研討展覽會暨物聯網與MEMS應用論壇在上海召開 11月23至24日，由國家發展和改革委員會、科技部、高技術研究發展項目（863項目）、國家自然科學基金委、中國儀器儀表學會暨微納器件與系統技術分會、上海物聯網中心共同主辦, 中國科學院上海微系統與信息
MEMS技術在海洋觀測中的應用（四）
⒊ 基于MEMS的慣性傳感器慣性（加速度）傳感器是一種技術比較成熟，應用比較廣泛的MEMS傳感器，主要應用于波浪觀測。目前國內外波浪測量浮標通常采用傳統的加速度傳感器，這些傳感器體積大、重量重、價格昂貴，從而使浮標的制作成本增加。近年來，隨著基于MEMS的慣性傳感器的技術逐漸成熟，MEMS慣
后疫情時代，中國MEMS企業如何破局？
后疫情時代，中國MEMS企業如何破局？且看中國MEMS制造大會！? ? ? ?2022年，珠三角、長三角、京津冀地區半導體產業接連受新冠疫情影響，帶來汽車電子、消費電子類芯片產能極度緊缺，可謂“一芯難求”，同時也給國內半導體、MEMS領域中小企業的生存帶來極大的挑戰。既是挑戰，亦是機遇，如何在后疫情
MEMS氣體傳感器的設計與工藝
目前，氣體傳感器的應用日趨廣泛，在物聯網等泛在應用的推動下，其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發展。具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環境、樓宇控制等領域的氣體檢測，該類傳感器的能耗是制約其大規模布設的核心節點，MEMS技術為解決MOS
2024MEMS傳感器展會|2024上海國際MEMS傳感器應用技術展覽會「官網」
2024中國（上海）國際傳感器及應用技術展覽會China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024時間：2024年11月18日-20日?地點：上海新國際博覽中心聯系人：李主任 手 機：136
MEMS加速度傳感器的工作原理
什么是MEMS加速度計？加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。MEMS（MICro EleCTRo Mechanical Systems）加速度計就是使用MEMS技術制造的加
重慶研發出全球頂級MEMS傳感器芯片
近日，記者從兩江新區獲悉，重慶企業研發出全球頂級MEMS(微機電系統)傳感器芯片，這種芯片將用于監測橋梁、隧道等市政設施，監測精度比傳統監測方式提升10倍。 據介紹，重慶德爾森傳感器技術有限公司是落戶兩江新區的一家科技企業，2015年，該公司開發出MD系列MEMS傳感器芯片。該芯片采用了多項創