泰斯肯中標吉林大學聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統

　　分析測試百科網訊 近日，吉林大學聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統（JLU-ZC19100）招標采購項目評標工作已結束，功能擴展性要求投標產品可擴展安裝飛行二次質譜儀（TOF-SIMS）或拉曼光譜單元（需提供證明文件及至少兩名國內用戶）。此次采購共計1套，中標品牌：TESCAN SOLARIS，中標總金額：467.6166 萬元（人民幣）。中標詳情及技術要求如下：

　　采購項目名稱：聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統（JLU-ZC19100）

　　招標編號：JLU-ZC19100

　　招標公告日期：2019年08月26日

　　定標日期：2019年09月17日

　　總中標金額：467.6166 萬元（人民幣）

　　中標結果：

　　評標委員會成員名單：

　　張偉、周英、曹學靜、陳岐岱、李冬妹

　　中標標的名稱、規格型號、數量、單價、服務要求：

　　聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統 型號：TESCAN SOLARIS 數量1套 單價66萬美元 質保期：整機12個月（發射電子源24個月）

技術要求：

　　聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統 數量 1套

　　一、工作條件

　　1. 電源電壓：230V±10V, 單相 50Hz；

　　2. 工作溫度：18℃～24℃；

　　3. 濕度：≤ 60% RH；

　　4. 儀器具備主動電磁減震系統。

　　二、主要技術要求

　　1. 成像系統技術要求

　　1.1 電子發射源：肖特基(Schottky)型熱場發射電子源，發射電子源質保2年。

　　1.2 分辨率：二次電子像分辨率≤0.7nm （15kV），≤1.0 nm （1kV），≤1.2nm （200 V）；背散射電子像分辨率≤1.6nm （15kV）。

　　1.3 加速電壓：調整范圍：0.05-30 kV,調整步長≤100V。

　　1.4 束流強度可至3 pA to 400 nA。

　　1.5 放大倍數范圍：5-2000000倍，粗、細調模式連續可調。

　　1.6 電子光學工作模式至少包含：超高分辨率模式、景深模式、分析模式，可以觀察和分析磁性樣品，并提供大視野觀測樣品。

　　1.7 具有無交叉斑技術，能通過超高分辨透鏡的組合提供高圖像質量。

　　1.8 掃描速度20ns–10ms/pixel多檔可選，可實現全幀、選區、定點、線掃描。

　　1.9 可模擬和實現電子束優化。

　　1.10 具備自保護功能的2kW不間斷電源1套。

　　2. 離子束技術要求

　　2.1 離子源種類：液態金屬Ga離子源。

　　2.2 離子束圖像分辨率：≤2.5nm @ 30kV（束流交叉點位置）。

　　2.3 加速電壓：0.5kV  -30 kV或更寬，連續可調。

　　2.4 最大束流強度：≥100nA，結合高速切割技術，可實現快速的大體積樣品處理。

　　2.5 具有不少于30檔壓電控制的自動光闌。

　　2.6 離子源壽命：≥3000uAh（保證壽命）。

　　2.7 配置Pt沉積氣體注入系統，獨立氣路。后期保證最高可支持6支單GIS。

　　2.7.1 快速升溫，由安裝氣源載體至開始沉積工作的時間小于2分鐘；

　　2.7.2 獨立氣體注入器；

　　2.7.3 采用氣動驅動模式，1秒內到達工作位置；

　　2.7.4 位置重復性優于15um。

　　2.8 具有全自動的壓電控制可對離子鏡筒進行全自動的對中維護。

　　2.9 配置TEM樣品制備所需的納米機械手。

　　2.9.1 PC軟件控制針的移動；

　　2.9.2漂移：≤50nm/min；

　　2.9.3步長精度：≤100nm。

　　3. 樣品室

　　3.1 樣品腔內部不小于340mm，高度不小于315mm。

　　3.2 最大樣品尺寸：不小于 160mm（直徑），保證無死角觀察全樣品。

　　3.3 樣品置換時間（抽真空時間）：不大于 3.5分鐘。

　　3.4 附件接口：在樣品室上提供不少于20個附件接口。

　　3.5 配置主動式電磁減震（原廠提供）。

　　4. 樣品臺

　　4.1 類型：5軸全自動馬達驅動，優中心控制。

　　4.2 移動范圍：X方向不小于250 mm,Y方向不小于150mm,Z方向不小于50mm,傾斜角度不小于﹣3°到70°，可360°連續旋轉。

　　4.3 該樣品臺可用于后期升級拉曼光譜聯用系統，也可以用于拉曼光譜單獨使用。

　　5. 采用無油真空系統

　　5.1 無油真空系統：機械泵＋渦輪分子泵＋離子泵；全自動真空控制。

　　5.2 電子槍真空度：優于3.0×10-7 Pa。

　　5.3 離子槍真空度：優于5.0×10-6 Pa。

　　5.4 樣品室真空度：優于5.0×10-4 Pa。

　　6. 探測器：配置至少7個探測器

　　6.1 樣品室內二次電子晶體探測器。

　　6.2 樣品室內電動可伸縮式LE-BSE探測器。

　　6.3 鏡筒內背散射探測器，進一步提升試樣表面的敏感度。

　　6.4 鏡筒內二次電子探測器。

　　6.5 中角度背散射電子探測器，可兼顧形貌及襯度成像。

　　6.6 可伸縮型陰極熒光探測器，波長接收范圍：185 nm  -850 nm。

　　6.7 樣品室內紅外CCD相機，分辨率不小于720×540。

　　7. 系統控制

　　7.1 Windows10 64位專業版操作系統的圖形用戶界面，操控功能可由鍵盤，鼠標，操控面板等完成。

　　7.2 圖像顯示： 32"LCD顯示器, 分辨率不低于2560×1440。

　　7.3 圖像文件最高解析度：不低于16384× 16384像素。

　　7.4 文件格式：包含但不限于TIFF，BMP或JPEG格式

　　7.5 計算機配置：采用品牌計算機工作站，配置不低于Intel? Core i7-8700六核3.20 GHz，16GB內存，HDD 2TB硬盤，nVIDIV GTX1060 3GB操作系統及應用軟件.

　　8. 應用軟件

　　8.1 應具備數據顯示（加速電壓、放大倍數、微標尺、工作距離、日期、時間、真空度、探測器）。

　　8.2 應具備標注功能（圖形類(圈、矩形、箭頭、測量線)、文字等）。

　　8.3 應具有測量功能，能測量試件的長寬高、直徑、周長、面積等。

　　8.4 應提供遠程控制/診斷功能，保證操作者的使用直觀便捷化。

　　8.5 應具備圖像及坐標導航及光鏡-電鏡連用功能，可兼容不同光鏡廠商的光鏡產品。

　　8.6 具備樣品室內部3D模型示意功能，防止碰撞，直觀的顯示試樣和各部件的幾何關系。

　　9. 功能擴展性：投標產品可擴展安裝飛行二次質譜儀（TOF-SIMS）或拉曼光譜單元（需提供證明文件及至少兩名國內用戶）。

　　三、附件備件數量及規格

　　1. Control Panel：多功能控制面板（1塊）；

　　2. 電鏡-光鏡聯用軟件（1套）；

　　3. 2KW，延時1小時，具備整機系統自保護功能的不間斷電源（1套）；

　　4. 能譜儀接口板（1塊）；

　　5. 空壓機（1臺）；

　　6. 水冷卻循環系統（1套）。