電子束曝光系統
電子束曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫或投影復印圖形的技術，它的特點是分辨率高（極限分辨率可達到3～8μm）、圖形產生與修改容易、制作周期短。它可分為掃描曝光和投影曝光兩大類，其中掃描曝光系統是電子束在工件面上掃描直接產生圖形，分辨率高，生產率低。投影曝光系統實為電子束圖形復印系統，它將掩模圖形產生的電子像按原尺寸或縮小后復印到工件上，因此不僅保持了高分辨率，而且提高了生產率。......閱讀全文
電子束曝光系統
電子束曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫或投影復印圖形的技術，它的特點是分辨率高（極限分辨率可達到3～8μm）、圖形產生與修改容易、制作周期短。它可分為掃描曝光和投影曝光兩大類，其中掃描曝光系統是電子束在工件面上掃描直接產生圖形，分辨率高，生產率低。投影曝光系統實為電子束圖形復印系統，
澳大利亞研制納米電子束曝光系統
據澳大利亞莫納什大學網站報道，澳大利亞研究人員正在研制世界最強大的納米設備之——電子束曝光系統(EBL)。該系統可標記納米級的物體，還可在比人發直徑小1萬倍的粒子上進行書寫或者蝕刻。 電子束曝光技術可直接刻畫精細的圖案，是實驗室制作微小納米電子元件的最佳選擇。這款耗資數百萬美元的曝光系統將
基于改進掃描電鏡的電子束曝光系統
由于SEM的工作方式與電子束曝光機十分相近,最初的電子束曝光機是從SEM基礎上改裝發展起來的，近年來隨著計算機技術的飛速發展，將SEM改裝為曝光機的工作取得了重要進展。 主要改裝工作是設計一個圖形發生器和數模轉換電路，并配備一臺PC機。PC機通過圖形發生器和數模轉換電器去驅動SEM的掃描線圈，
復旦大學掃描電鏡及電子束曝光系統采購國際招標公告
分析測試百科網訊 近日，復旦大學掃描電鏡及電子束曝光系統采購國際招標（項目編號：0705-1940182008K5/01）進行公開招標，預算金額：295萬。詳情如下： 項目聯系人：郭老師 電話：86-21-65645621 開標時間：2019年12月02日 09:30 開標地點：邯鄲路22
電子束光刻成型電子束掃描系統
成形電子束曝光系統按束斑性質可分成固定和可變成形束系統。固定成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸始終不變；可變成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸可不斷變化。按掃描方式，成形電子束曝光系統又可分為矢量掃描型和光柵掃描型。一種尺寸可變的矩形束斑的形成原理是電子束經上方光闌后形成一束方形電子束，再照射到下方
電子透鏡的結構組成
電子透鏡有靜電透鏡、磁透鏡和復合電子透鏡等三種類型(或分為靜電透鏡、磁透鏡兩種類型)。在一般的電子束曝光系統中，除了電子槍外，基本上都采用磁透鏡。但是，在電子束微矩陣曝光以及新型電子顯示屏等系統中，靜電透鏡仍然有著一定的應用。?
電子束光刻投影電子束掃描系統
掃描式電子束曝光系統可以得到極高的分辨率，但其生產率較低，不能滿足大規模生產的需要。成形束系統生產率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，難以制作納米級圖形。近年來研發的投影電子束來曝光系統，既能使曝光分辨率達到納米量級，又能大大提高生產率，且不需要鄰近效應校正。在研制中的投影式電子束曝
超4500萬元－湖北工業大學采購場發射掃描電鏡等科研儀器
近日，湖北工業大學發布多個公開招標公告，采購X射線衍射儀、高分辨電子束曝光系統、正置光學顯微鏡、場發射掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、原子力近場光學共焦拉曼熒光多功能顯微鏡聯用平臺、桌面同步輻射譜儀等大批科研儀器與設備，總招標預算超4500萬元。 采購人信息 名 稱：湖北工業大學 地 址：湖
新方法可讓“超材料”實現自我組裝
據美國物理學家組織網11月2日報道，美國科學家在最新一期德文版的《應用化學》雜志上指出，他們最新研制出的納米制造技術可讓自然界中并不存在的“超材料”自我組裝而成。由此得到的“超材料”有些具有非比尋常的光學特性，有助于制造能給蛋白質、病毒、DNA(脫氧核糖核酸)等攝像的“超級鏡頭”以及隱形斗篷;而
【截止10月21日】貼息貸款華南理工大學共計發布38.68億元
2022-10-08日，華南理工大學發布政府采購意向，預算金額共計1.9億元，預計采購日期：2022年11月序號采購項目名稱采購品目預算金額(萬元)1X射線吸收譜儀系統A02100399其他光學儀器998.62五山校區工程創新中心實驗室建設項目A02050905工業機器人89503重點行業揮發性有機
分會報告：科學儀器及其關鍵技術研發成果交流會
分析測試百科網訊 2016年8月21日，中國儀器儀表學會分析儀器會分2016學術年會上，舉辦了“科學儀器及其關鍵技術研發成果交流會” 的分會，多位專家分享了科學儀器及其關鍵技術研發成果。主持人：浙江大學分析儀器研究中心教授周建光北京大學藥學院教授 韓南銀 北京大學藥學院教授韓南銀帶來了題為《場
報名通知│分析儀器關鍵部件創新進展論壇報告嘉賓簡介
關鍵技術和關鍵部件落后，是當前我國科學儀器設備總體水平落后于發達國家的重要因素之一。高端科學儀器研制尤其受制于關鍵部件，一方面是國外對高端儀器零部件的出口限制非常嚴，甚至有些不對外出售；另一方面更重要的是國內對關鍵部件的研發不足，“卡脖子”問題明顯突出。2023年11月30日，第八屆分析儀器學術
預算1.33億元－遼寧材料實驗室1（至）8月政府采購意向
遼寧材料實驗室 2024年1（至）8月政府采購意向，預算金額133215000元。 為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將遼寧材料實驗室 2024年1（至）8月采購意向公開如下：序號采購項目名稱采購需求概況預
超2億元！遼寧材料實驗室2024年政府采購意向
遼寧材料實驗室 2024年1（至）12月 政府采購意向 為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將遼寧材料實驗室 2024年1（至）12月采購意向公開如下：序號采購項目名稱采購需求概況預算金額（萬元）預計采
第十屆中科院杰出青年終評推薦人選公示
根據《關于評選第十屆“中國科學院杰出青年”的通知》(科發京黨字〔2009〕128號)文件規定，第十屆中國科學院杰出青年評選程序性評審工作已于2010年1月11日進行，評選領導小組辦公室按照有關文件要求及評選程序邀請相關人員對上報材料進行了認真的審閱，并選出了30位候選人進入最終的評選。 現