清華大學儀器共享平臺TRION化學氣相沉積系統
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分類標簽：集成電路 微納加工 半導體工藝 PECVD技術指標：等離子增強型化學氣相淀積；工藝溫度100～400℃知名用戶：吳華強 微電子所；許軍 微電子所；陳煒 微電子所；錢鶴 微電子所；劉澤文 微電子所；岳瑞峰 微電子所； 王喆垚 微電子所；蔡堅 微電子所；鄧寧 微電子所；伍曉明 微電子所； 張志勇 北京大學技術團隊：張忠會 田震 韓冰 竇維治功能特色：此設備在100～400℃下淀積SiOx、SiNx、SiO......閱讀全文
清華大學儀器共享平臺WESTBOND－鍵合機
儀器名稱：鍵合機儀器編號：19019277產地：生產廠家：WESTBOND, INC型號：7476D出廠日期：購置日期：2019-10-29所屬單位：物理系>離子束刻蝕實驗室放置地點：理科樓 C-207固定電話：010-62772764固定手機：13552113513固定email：jianglin
物理氣相沉積和化學氣相沉積的對比
化學氣相沉積過程中有化學反應，多種材料相互反應，生成新的的材料。 物理氣相沉積中沒有化學反應，材料只是形態有改變。 物理氣相沉積技術工藝過程簡單，對環境改善，無污染，耗材少，成膜均勻致密，與基體的結合力強。缺點膜一基結合力弱,鍍膜不耐磨, 并有方 向性 化學雜質難以去除。優點可造金屬膜、非
清華大學儀器共享平臺熒光顯微光學切片斷層成像系統
儀器名稱：熒光顯微光學切片斷層成像系統儀器編號：22023668產地：中國生產廠家：武漢沃億生物有限公司型號：BioMapping 5000M出廠日期：購置日期：2022-11-02所屬單位：生命學院>清華-IDG/麥戈文腦科學共享儀器開放實驗室放置地點：生物醫學館U6039固定電話：固定手機：固定
清華大學儀器共享平臺金盛微納－全自動磁控濺射系統
儀器名稱：全自動磁控濺射系統儀器編號：12024341產地：中國生產廠家：金盛微納科技有限公司型號：MSP-150B出廠日期：201112購置日期：201211所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：劉建設（,,zh
簡述化學氣相沉積的應用
現代科學和技術需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地摻入某種雜質形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產品。因此，無機新材料的合成就成為現代材料科學中的主要課題。
化學氣相沉積的原理簡介
化學氣相沉積技術是應用氣態物質在固體上產生化學反應和傳輸反應等并產生固態沉積物的一種工藝，它大致包含三步： （1）形成揮發性物質 ； （2）把上述物質轉移至沉積區域 ； （3）在固體上產生化學反應并產生固態物質 。 最基本的化學氣相沉積反應包括熱分解反應、化學合成反應以及化學傳輸反應等幾
清華大學儀器共享平臺低溫恒溫器
儀器名稱：低溫恒溫器儀器編號：22045286產地：美國生產廠家：多為萊博（香港）有限公司型號：DE204SF出廠日期：購置日期：2023-03-03所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：hao
清華大學儀器共享平臺THERMO－通用管式爐
儀器名稱：通用管式爐儀器編號：17005496產地：美國生產廠家：THERMO型號：STF55433PC-1出廠日期：購置日期：2017-03-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：haos
清華大學儀器共享平臺紫外臭氧清洗機
儀器名稱：紫外臭氧清洗機儀器編號：19011740產地：中國生產廠家：北京中科微控科技有限公司型號：SC-UV-I出廠日期：購置日期：2019-08-13所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：h
清華大學儀器共享平臺Struers－金相拋磨機
儀器名稱：金相拋磨機儀器編號：04009981產地：丹麥生產廠家：Struers公司型號：TegraPol-15出廠日期：200407購置日期：200410所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：微電子所平房固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬海艷（010-66668888
清華大學儀器共享平臺DEK－絲網印刷機
儀器名稱：絲網印刷機儀器編號：12002078產地：英國生產廠家：DEK型號：DEK Galaxy出廠日期：201110購置日期：201202所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：微電子所新所一樓微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：鄭瑤（010-62798268,1
清華大學儀器共享平臺Janome－桌上型點膠機
儀器名稱：桌上型點膠機儀器編號：11029360產地：日本生產廠家：Janome型號：JR2303N出廠日期：201109購置日期：201112所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：微電子所新所一樓微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：鄭瑤（010-62798268,
清華大學儀器共享平臺高速落地離心機
儀器名稱：高速落地離心機儀器編號：14007980產地：德國生產廠家：Thermo Fisher型號：lynx 4000出廠日期：201301購置日期：201405所屬單位：醫學院>免疫所放置地點：醫學科學樓D324固定電話：固定手機：固定email：聯系人：吳小靜（010-62796829,158
清華大學儀器共享平臺奧林巴斯－金相顯微鏡
儀器名稱：金相顯微鏡儀器編號：11001102產地：日本生產廠家：奧林巴斯型號：MX51出廠日期：201009購置日期：201101所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析放置地點：微電子所新所一層測試間固定電話：固定手機：固定email：聯系人：包艷琳（010-62784044,13020
清華大學儀器共享平臺磁控濺射鍍膜機
儀器名稱：磁控濺射鍍膜機儀器編號：13001328產地：中國生產廠家：創世威納科技公司型號：MSP-3200T出廠日期：201301購置日期：201301所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：一樓平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：魏治乾（010-62781090,19
清華大學儀器共享平臺Nikon－NISElements－AR
儀器名稱：Nikon NIS-Elements AR儀器編號：A18000033產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>細胞影像 平臺放置地點：清華大學生物醫學館U6-110固定電話：010-62772736固定手機：固定email：imagi
清華大學儀器共享平臺雙光子顯微鏡
儀器名稱：雙光子顯微鏡儀器編號：15017684產地：日本生產廠家：Olympus型號：FV1200MPE出廠日期：201403購置日期：201510所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>設施細胞影像平臺放置地點：清華大學生物醫學館U6-119固定電話：固定手機：固定email：聯系
清華大學儀器共享平臺SET－倒裝鍵合機
儀器名稱：倒裝鍵合機儀器編號：21018517產地：法國生產廠家：SET型號：FC150出廠日期：購置日期：2021-09-08所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：集成電路學院一層微納平臺固定電話：010-62798268固定手機：13811838182固定email：zheng
清華大學儀器共享平臺JEOL－電子探針（EPMA）
儀器名稱：電子探針（EPMA）儀器編號：13010514產地：日本生產廠家：JEOL型號：JXA8230出廠日期：2010.1購置日期：201306所屬單位：材料學院>材料中心 >逸夫樓部分>電子探針、X射線熒光分室放置地點：逸夫技科樓A306室固定電話：固定手機：固定email：聯系人：朱彥潔（0
化學氣相沉積法需要哪些實驗儀器和藥品
1,首先你需要一臺化學氣相沉積機臺，常見的有牛津的PECVD幾臺。2,藥品的話主要是一切特殊氣體，如硅烷，氮氣，氨氣，氧氣，笑氣，氟化碳氣體等。3,試驗步驟建議使用田口的DOE實驗法，這樣你可以省去一些不必要的試驗。
清華大學儀器共享平臺中科院－國產濺射臺
儀器名稱：國產濺射臺儀器編號：02011815產地：中國生產廠家：中科院微電子中心自制型號：JS-3出廠日期：200107購置日期：200210所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：魏治乾（010-62781090
清華大學儀器共享平臺場發射環境掃描電鏡
儀器名稱：場發射環境掃描電鏡儀器編號：06011403產地：荷蘭生產廠家：FEI型號：QUANTA 200 FEG出廠日期：200607購置日期：200611所屬單位：機械系>摩擦學國家重點實驗室>SEM FIB放置地點：李兆基科技大樓A510室固定電話：010-62772522固定手機：固定ema
清華大學儀器共享平臺易安科儀－管式爐
儀器名稱：管式爐儀器編號：21002033產地：中國生產廠家：易安科儀（北京）國際貿易有限公司型號：STF55433POMC出廠日期：購置日期：2021-02-04所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定em
清華大學儀器共享平臺場發射環境掃描電鏡
儀器名稱：場發射環境掃描電鏡儀器編號：06011403產地：荷蘭生產廠家：FEI型號：QUANTA 200 FEG出廠日期：200607購置日期：200611所屬單位：機械系>摩擦學國家重點實驗室>SEM FIB放置地點：李兆基科技大樓A510室固定電話：010-62772522固定手機：固定ema
清華大學儀器共享平臺物理吸附儀（四站）
儀器名稱：物理吸附儀（四站）儀器編號：15012505產地：美國生產廠家：美國康塔儀器型號：QUADRASORB SI出廠日期：201109購置日期：201507所屬單位：化工系>化工系測試平臺>反應工程實驗室放置地點：化學工程實驗樓固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬鳴宇（010-111
清華大學儀器共享平臺中聯科利－清洗機
儀器名稱：清洗機儀器編號：11023084產地：中國生產廠家：中聯科利型號：CUC-XS004A-05-10-M-A出廠日期：200612購置日期：201111所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>清洗/濕法工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：宗莉（01
清華大學儀器共享平臺DRYTEK－去膠設備(等離子光刻)
儀器名稱：去膠設備(等離子光刻)儀器編號：90175600產地：美國生產廠家：DRYTEK型號：MS-5出廠日期：199002購置日期：199003所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>刻蝕工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：李希有（010-627840
清華大學儀器共享平臺X射線衍射儀8號
儀器名稱：8號-X射線衍射儀儀器編號：20013432產地：德國生產廠家：Bruker型號：D8 Discover出廠日期：購置日期：2020-09-21所屬單位：材料學院>材料中心 >逸夫樓部分>X射線衍射分室放置地點：逸夫技術科學樓A145固定電話：010-62784581固定手機：固定emai
清華大學儀器共享平臺Leica－冷凍超薄切片機
儀器名稱：冷凍超薄切片機儀器編號：16002271產地：德國生產廠家：Leica型號：UC7+FC7出廠日期：201408購置日期：201602所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>冷凍電鏡平臺樣品制備>設施細胞冷凍電鏡平臺放置地點：清華大學生物譯學館U6-109(何添樓北側，地下六層出1號電梯連
清華大學儀器共享平臺湖南湘儀－離心機
儀器名稱：離心機儀器編號：18016651產地：中國生產廠家：湖南湘儀器型號：H1850出廠日期：購置日期：2018-06-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：haosun@tsinghu