清華大學儀器共享平臺TRION化學氣相沉積系統
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分類標簽：集成電路 微納加工 半導體工藝 PECVD技術指標：等離子增強型化學氣相淀積；工藝溫度100～400℃知名用戶：吳華強 微電子所；許軍 微電子所；陳煒 微電子所；錢鶴 微電子所；劉澤文 微電子所；岳瑞峰 微電子所； 王喆垚 微電子所；蔡堅 微電子所；鄧寧 微電子所；伍曉明 微電子所； 張志勇 北京大學技術團隊：張忠會 田震 韓冰 竇維治功能特色：此設備在100～400℃下淀積SiOx、SiNx、SiO......閱讀全文
清華大學儀器共享平臺TRION－化學氣相沉積系統
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-6278
TRION化學氣相沉積系統共享應用
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-6278
化學氣相沉積系統共享
儀器名稱：化學氣相沉積系統儀器編號：13003987產地：美國生產廠家：TRION型號：PHANTOMIII出廠日期：201205購置日期：201303所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-6278
清華大學儀器共享平臺Ultratech－原子層沉積系統
儀器名稱：原子層沉積系統儀器編號：17016605產地：美國生產廠家：Ultratech型號：Savannah S100出廠日期：購置日期：2017-06-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：固定email：haosun@ts
清華大學儀器共享平臺Kurt－LAB18薄膜沉積系統
儀器名稱：LAB18薄膜沉積系統儀器編號：12028282產地：中國生產廠家：Kurt型號：KJLC出廠日期：201204購置日期：201212所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：竇維治（010-62781090
清華大學儀器共享平臺nikon－系統測試
儀器名稱：系統測試nikon儀器編號：A15000007產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：醫研院>生物醫學測試中心>尼康影像中心放置地點：醫學科學樓C153固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
清華大學儀器共享平臺CSOE003－氣相色譜儀
儀器名稱：CSOE-003 氣相色譜儀儀器編號：18504915產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：環境學院>環境學院公共研究平臺>生物平臺放置地點：環境教學中心A107固定電話：010-62788932固定手機：15811074101固定email：jinqiu617@126.co
清華大學儀器共享平臺Gatan－直讀式特殊成像系統
儀器名稱：直讀式特殊成像系統儀器編號：15005988產地：美國生產廠家：Gatan型號：K2出廠日期：2013.9購置日期：201504所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>冷凍電鏡平臺>設施蛋白質冷凍電鏡平臺放置地點：生物新館129固定電話：固定手機：固定email：聯系人：分類標簽：電子顯微
清華大學儀器共享平臺LMD7000－激光顯微切割系統
儀器名稱：激光顯微切割系統 LMD7000儀器編號：14017291產地：德國生產廠家：Leica型號：LMD7000出廠日期：201308購置日期：201409所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>設施細胞影像平臺放置地點：清華大學生物醫學館U6-116固定電話：固定手機：固定em
清華大學儀器共享平臺四川景恒－CVD系統
儀器名稱：CVD系統儀器編號：21000218產地：中國生產廠家：四川景恒科技有限公司型號：Lindberg/Blue M出廠日期：購置日期：2021-01-13所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定ema
清華大學儀器共享平臺安捷倫－Cytation－10圖像處理系統
儀器名稱：Cytation 10圖像處理系統儀器編號：A23000114產地：美國生產廠家：安捷倫公司型號：Cytation 10出廠日期：20231027購置日期：20231027所屬單位：生命學院>蛋白質研究技術中心>細胞影像平臺>細胞影像 平臺放置地點：生物醫學館U6 098固定電話：0106
清華大學儀器共享平臺管式爐
儀器名稱：管式爐儀器編號：21002920產地：中國生產廠家：易安科儀（北京）國際貿易有限公司型號：TF55035C0MC出廠日期：購置日期：2021-03-02所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定ema
清華大學儀器共享平臺物理吸附儀
儀器名稱：物理吸附儀儀器編號：A14000002產地：生產廠家：型號：出廠日期：購置日期：所屬單位：化工系>化工系測試平臺>反應工程實驗室放置地點：清華大學化工系工物館305固定電話：固定手機：固定email：聯系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清華大學儀器共享平臺物理吸附儀
儀器名稱：物理吸附儀（兩站）儀器編號：15012504產地：美國生產廠家：美國康塔儀器型號：Autosorb-iQ2-C出廠日期：201109購置日期：201507所屬單位：化工系>化工系測試平臺>反應工程實驗室放置地點：化學工程實驗樓固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬鳴宇（010-11
化學氣相沉積的概述
化學氣相沉積是一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。化學氣相淀積是近幾十年發展起來的制備無機材料的新技術。化學氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物
化學氣相沉積的特點
1）在中溫或高溫下，通過氣態的初始化合物之間的氣相化學反應而形成固體物質沉積在基體上。 2）可以在常壓或者真空條件下(負壓“進行沉積、通常真空沉積膜層質量較好）。 3）采用等離子和激光輔助技術可以顯著地促進化學反應，使沉積可在較低的溫度下進行。 4）涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而變化
清華大學儀器共享平臺Thermo－液相色譜質譜聯用儀
儀器名稱：液相色譜質譜聯用儀儀器編號：14027370產地：美國生產廠家：Thermo型號：U3000出廠日期：201406購置日期：201412所屬單位：化學系>程津培院士課題組放置地點：蒙民偉科技樓南樓S902固定電話：固定手機：固定email：聯系人：分類標簽：液質聯用技術指標：50-6000
物理氣相沉積和化學氣相沉積的對比
化學氣相沉積過程中有化學反應，多種材料相互反應，生成新的的材料。 物理氣相沉積中沒有化學反應，材料只是形態有改變。 物理氣相沉積技術工藝過程簡單，對環境改善，無污染，耗材少，成膜均勻致密，與基體的結合力強。缺點膜一基結合力弱,鍍膜不耐磨, 并有方 向性 化學雜質難以去除。優點可造金屬膜、非
清華大學儀器共享平臺Gatan－離子束鍍膜刻蝕系統
儀器名稱：離子束鍍膜刻蝕系統儀器編號：14012804產地：美國生產廠家：Gatan型號：682出廠日期：201308購置日期：201407樣品要求：尺寸要求：最大尺寸直徑32mm、高度10mm樣品其他要求：真空下不能有揮發物。所屬單位：材料學院>材料中心 >電鏡中心放置地點：主樓11-127固定電
清華大學儀器共享平臺奧林巴斯SpinSR轉盤共聚焦顯微成像系統
儀器名稱：奧林巴斯SpinSR轉盤共聚焦顯微成像系統儀器編號：21019132產地：日本生產廠家：奧林巴斯型號：SpinSR出廠日期：購置日期：2021-09-08所屬單位：生命學院>清華-IDG/麥戈文腦科學共享儀器開放實驗室放置地點：生物醫學館U6039固定電話：010-62798607固定手機
清華大學儀器共享平臺頭戴式小鼠活體鈣成像系統
儀器名稱：頭戴式小鼠活體鈣成像系統儀器編號：A23000163產地：美國生產廠家：Inscopix型號：nVue出廠日期：20230212購置日期：20221230所屬單位：藥學院>藥學技術中心>神經藥理平臺放置地點：固定電話：固定手機：固定email：聯系人：分類標簽：微型顯微鏡 小動物鈣成像 活
清華大學儀器共享平臺JEOL－掃描電鏡
儀器名稱：掃描電鏡儀器編號：02012309產地：日本生產廠家：日本電子公司型號：JSM-6460LV出廠日期：200208購置日期：200210所屬單位：材料學院>先進材料薄膜材料實驗室放置地點：逸夫技科樓1134室固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曾飛（010-62795373,186
清華大學儀器共享平臺反應離子蝕刻機
儀器名稱：反應離子蝕刻機儀器編號：85427700產地：瑞典生產廠家：瑞典型號：PTL 520/520出廠日期：198509購置日期：198509所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>刻蝕工藝放置地點：微電子所新所一層微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：李希有（010-6278404
清華大學儀器共享平臺THERMO－管式馬弗爐
儀器名稱：管式馬弗爐儀器編號：16042569產地：中國生產廠家：THERMO型號：TF55035C-1出廠日期：購置日期：2016-12-25所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固定email：haosun
清華大學儀器共享平臺SUSS－光刻機
儀器名稱：光刻機儀器編號：20004477產地：中國生產廠家：SUSS Micro Tec Lithography Gmb型號：MJB4出廠日期：購置日期：2020-06-09所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：固定email：h
清華大學儀器共享平臺JEOL－掃描電鏡
儀器名稱：掃描電鏡儀器編號：05015289產地：日本生產廠家：日本電子公司型號：JSM7401出廠日期：200505購置日期：200511樣品要求：不能有磁性，如鐵、鈷、鎳；樣品需干燥，不能含水及有機溶劑等；樣品與樣品臺粘結牢固；樣品尺寸合適，最大不能超過一寸；導電性不好的需要噴金處理預約說明：組
清華大學儀器共享平臺FineTech－貼片機
儀器名稱：貼片機儀器編號：11029777產地：德國生產廠家：FineTech型號：Fineplacer_145_Pico出廠日期：201109購置日期：201112樣品要求：與設備工程師確認。預約說明：封裝工藝所有的設備均需要提前預約，預約前請聯系設備管理員，討論樣品信息和預約時間，再在網上進行預
清華大學儀器共享平臺JEOL－掃描電鏡
儀器名稱：掃描電鏡儀器編號：02012309產地：日本生產廠家：日本電子公司型號：JSM-6460LV出廠日期：200208購置日期：200210所屬單位：材料學院>先進材料薄膜材料實驗室放置地點：逸夫技科樓1134室固定電話：固定手機：固定email：聯系人：曾飛（010-62795373,186
清華大學儀器共享平臺PVA－超聲檢測設備
儀器名稱：超聲檢測設備儀器編號：12006229產地：德國生產廠家：PVA型號：KSI SAM300出廠日期：201110購置日期：201204所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點：微電子所新所一樓微納平臺固定電話：固定手機：固定email：聯系人：馬海艷（010-66668888
清華大學儀器共享平臺低溫納米傾角臺
儀器名稱：低溫納米傾角臺儀器編號：21000293產地：德國生產廠家：attocube systems AG型號：ANC350出廠日期：購置日期：2021-01-13樣品要求：樣品要求:與平臺測試人員聯系具體細節預約說明：測試所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定