掃描探針顯微鏡及掃描方法
掃描探針顯微鏡和掃描方法,其能減小或避免因探針尖與樣品碰撞而造成的損害,縮短測量時間,提高生產力和測量精確度,不受粘附水層的影響收集樣品表面的觀測數據,如形貌數據。顯微鏡具有振動探針尖的振動單元、探針尖與樣品表面接近或接觸時收集觀測數據的觀測單元、探針尖與樣品表面接近或接觸時檢測探針尖振動狀態變化的檢測單元和控制探針尖在平行于樣品表面的X和Y方向上及在垂直于樣品表面的Z方向上移動的控制單元。在收集觀測數據以后,控制單元在平行于樣品表面的方向上掃描探針尖,直到達到在X或Y方向上的下一觀測位置。在掃描中,若檢測到探針尖振動狀態變化,控制單元就在Z方向上遠離樣品表面移動探針尖。......閱讀全文
掃描探針顯微鏡及掃描方法
掃描探針顯微鏡和掃描方法,其能減小或避免因探針尖與樣品碰撞而造成的損害,縮短測量時間,提高生產力和測量精確度,不受粘附水層的影響收集樣品表面的觀測數據,如形貌數據。顯微鏡具有振動探針尖的振動單元、探針尖與樣品表面接近或接觸時收集觀測數據的觀測單元、探針尖與樣品表面接近或接觸時檢測探針尖振動狀態變化的
掃描探針顯微鏡和掃描探針顯微鏡的光軸調整方法
掃描探針顯微鏡和掃描探針顯微鏡的光軸調整方法。提供能夠使用配置于掃描探針顯微鏡的物鏡來自動地進行光杠桿的光軸調整的掃描探針顯微鏡和其光軸調整方法。是一種掃描探針顯微鏡(100),所述掃描探針顯微鏡(100)具備:懸臂支承部(11),以規定的安裝角(θ)安裝懸臂(4);移動機構(21),對懸臂的位置進
用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法
? ? ?一種用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法。旋轉空氣軸承高速旋轉,從旋轉編碼器獲得旋轉的角度,氣浮導軌沿著待測工件的徑向運動,從線性編碼器獲得氣浮導軌的位移,旋轉空氣軸承和氣浮導軌從而構成掃描模塊,利用DSP綜合控制系統模塊驅動SPM測量頭獲得待測工件表面的高度信息,再利用高速數據采集與處理模
用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法
? ? ??一種用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法。旋轉空氣軸承高速旋轉,從旋轉編碼器獲得旋轉的角度,氣浮導軌沿著待測工件的徑向運動,從線性編碼器獲得氣浮導軌的位移,旋轉空氣軸承和氣浮導軌從而構成掃描模塊,利用DSP綜合控制系統模塊驅動SPM測量頭獲得待測工件表面的高度信息,再利用高速數據采集與處理
掃描探針顯微鏡共享
儀器名稱:掃描探針顯微鏡儀器編號:04001035產地:美國生產廠家:美國維易科精密公司型號:DI-3100出廠日期:200307購置日期:200402所屬單位:航院>強度與振動中心>電鏡室放置地點:103-105固定電話:固定手機:固定email:聯系人:華心(010-62772379,13701
掃描探針顯微鏡共享
儀器名稱:掃描探針顯微鏡儀器編號:05017496產地:日本生產廠家:日本精工公司型號:SPI4000/SPA300HV出廠日期:200410購置日期:200512所屬單位:材料學院>新型陶瓷國家重點實驗室>王曉慧實驗室放置地點:逸夫樓2202固定電話:固定手機:固定email:聯系人:張輝(010
掃描探針顯微鏡簡介
掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡AFM,激光力顯微鏡LFM,磁力顯微鏡MFM等等)的統稱,是國際上近年發展起來的表面分析儀器,是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢
掃描探針顯微鏡概述
掃描探針顯微鏡以其分辨率極高(原子級分辨率)、實時、實空間、原位成像,對樣品無特殊要求(不受其導電性、干燥度、形狀、硬度、純度等限制)、可在大氣、常溫環境甚至是溶液中成像、同時具備納米操縱及加工功能、系統及配套相對簡單、廉價等優點,廣泛應用于納米科技、材料科學、物理、化學和生命科學等領域,并取得
掃描探針顯微鏡(SPM)結構
1、探針:STM金屬探針,AFM微懸臂、光電二極臂2、機械控制系統:壓電掃描器、粗調定位裝置、振動隔離系統3、電子學控制系統:電子學線路、接口,控制軟件
掃描探針顯微鏡(SPM)針尖
1、STM針尖:W絲、Pt-Ir絲。超高真空一般用W絲,通過電化學腐蝕、高溫退火或原位處理以去除氧化層。大氣中一般用Pt-Ir絲,直接剪切制成。2、AFM針尖:Si、SiN4材料,通過微加工光刻的方法制備。
什么是掃描探針顯微鏡?
p.p1 {margin: 0.0px 0.0px 0.0px 0.0px; line-height: 19.0px; font: 13.0px 'Helvetica Neue'}掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發
石英音叉掃描探針顯微鏡
? ? 石英音叉是一種諧振頻率穩定、品質因數高的時基器件,其音叉臂的諧振參數(諧振振幅和諧振頻率)對微力極其敏感。利用石英音叉對外力的敏感性,與鎢探針結合,構成一種新型的表面形貌掃描測頭。該測頭與xyz壓電工作臺結合,利用測頭音叉臂諧振頻率對掃描微力的敏感性,研制基于相位反饋控制的掃描探針顯微鏡。?
掃描探針顯微鏡的原理
掃描電子顯微鏡的原理是由最上邊電子槍發射出來的電子束,經柵極聚焦后,在加速電壓作用下,經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質的交互作用,結果產生了各種信息:二次電子、
掃描探針顯微鏡的優勢
SPM作為新型的顯微工具與以往的各種顯微鏡和分析儀器相比有著其明顯的優勢: 首先,SPM具有極高的分辨率。它可以輕易的“看到”原子,這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡所難以達到的。 其次,SPM得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像。而不同于某些分析儀器是通過間接的或計算的方法來推算樣品的表
掃描探針顯微鏡的應用
目前掃描探針顯微鏡中最為廣泛使用管狀壓電掃描器的垂直方向伸縮范圍比平面掃描范圍一般要小一個數量級,掃描時掃描器隨樣品表面起伏而伸縮,如果被測樣品表面的起伏超出了掃描器的伸縮范圍,則會導致系統無法正常甚至損壞探針。因此,掃描探針顯微鏡對樣品表面的粗糙度有較高的要求; 由于系統是通過檢測探針對樣品
掃描探針顯微鏡(SPM)特點
1.掃描隧道顯徽鏡(STM)和原子力顯微鏡同其他顯微鏡相比具有分辨率高、工作環境要求低、待測樣品要求低、不需要重金屬投影等優點,所以它們觀察到的圖像更能直接反映樣品的原有特點。 2.借助于快速的計算機圖像采集系統時,STM和AFM還可以用來觀察細胞,亞細胞水平甚至是分子水平上的快速動態變化過程
掃描探針顯微鏡的原理
掃描電子顯微鏡的原理是由最上邊電子槍發射出百來的電子束,經柵極聚焦后,在加速電壓作用下,經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下使電子束度在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質的交互作用,結果產生了各種信息:二次電
掃描探針顯微鏡的特點
掃描探針顯微鏡具有極高的分辨率;得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像;使用環境寬松等特點。選擇好的掃描探針顯微鏡推薦Park NX-Hivac。Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比,高真空測量
掃描探針顯微鏡的原理
掃描探針顯微鏡的基本工作原理是利用探針與樣品表面原子分子的相互作用,即當探針與樣品表面接近至納米尺度時形成的各種相互作用的物理場,通過檢測相應的物理量而獲得樣品表面形貌。掃描探針顯微鏡豐要由探針、掃描器、位移傳感器、控制器、檢測系統和圖像系統5部分組成。而原子力顯微鏡是一種掃描探針顯微鏡的一支,更具
掃描探針顯微鏡的特點
掃描探針顯微鏡具有極高的分辨率;得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像;使用環境寬松等特點。選擇好的掃描探針顯微鏡推薦Park NX-Hivac。Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比,高真空測量
掃描探針顯微鏡的應用
SPM的應用領域是寬廣的。無論是物理、化學、生物、醫學等基礎學科,還是材料、微電子等應用學科都有它的用武之地。SPM的價格相對于電子顯微鏡等大型儀器來講是較低的。同其它表面分析技術相比,SPM 有著諸多優勢,不僅可以得到高分辨率的表面成像,與其他類型的顯微鏡相比(光學顯微鏡,電子顯微鏡)相比,SPM
超高真空掃描探針顯微鏡
超高真空掃描探針顯微鏡是一種用于材料科學、物理學領域的分析儀器,于2011年12月15日啟用。 1、技術指標 工作溫度為室溫,樣品粗定位范圍>6 mm×6 mm,單管掃描范圍>6 μm×6 μm×2 μm。STM模式下可實現Si(1 1 1)和Au(1 1 1)表面的原子分辨;AFM接觸模式
掃描探針顯微鏡發展歷史
1981年,Bining,Rohrer在IBM蘇黎世實驗室發明了掃描隧道顯微鏡(STM)并為此獲得1986年諾貝爾物理獎。STM的出現使人類能夠對原子級結構和活動過程進行觀察。由于STM需要被測樣本必須為導體或半導體,其應用受到一定的局限。 1985年,原子力顯微鏡(AFM)的發明則將觀察對象由導
掃描探針顯微鏡的薄膜斷面定位方法
? ? ?掃描力顯微鏡是一種利用尖銳的微型探針在樣品表面上方掃描來檢測樣品表面的一些性質,如形貌特征和表面電勢等等。如圖1所示,當針尖在樣品表面掃描時,針尖與樣品的相互作用力使得微懸臂發生形變。反饋系統根據檢測器檢測到的形變結果不斷調整針尖和樣品間的距離,從而保持針尖和樣品的作用力恒定。對于表面形貌
掃描探針顯微鏡掃描器運動誤差的研究
對由壓電陶瓷的壓電誤差造成的掃描探針顯微鏡掃描器的運動誤差進行了較詳細的實驗研究和理論分析,分析了各項誤差的產生原因及其實驗現象,據此可對誤差進行判斷和修正。 1 概述 掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,簡稱SPM)是指包括掃描隧道顯微鏡[1](Scanning
關于掃描探針顯微鏡的簡介
掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡,靜電力顯微鏡,磁力顯微鏡,掃描離子電導顯微鏡,掃描電化學顯微鏡等)的統稱,是國際上近年發展起來的表面分析儀器,是綜合運用光電子技術、激
掃描探針顯微鏡的功能介紹
掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡,靜電力顯微鏡,磁力顯微鏡,掃描離子電導顯微鏡,掃描電化學顯微鏡等)的統稱,是國際上近年發展起來的表面分析儀器,是綜合運用光電子技術、激光技
掃描探針顯微鏡的產品特點
SPM作為新型的顯微工具與以往的各種顯微鏡和分析儀器相比有著其明顯的優勢:首先,SPM具有極高的分辨率。它可以輕易的“看到”原子,這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡所難以達到的。其次,SPM得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像。而不同于某些分析儀器是通過間接的或計算的方法來推算樣品的表面結構。也就
掃描探針顯微鏡(SPM)的特點
1、局域探針:探測樣品的局域特性、表面形貌、電子結構、電場、磁場等其他局域特性、2、高分辨率:STM x、y 0.1nm,Z 0.01nm3、可在不同環境下成像:大氣、超高真空、溶液、低溫、高溫4、對樣品無損傷、無干擾5、實時、動態過程的研究:吸附、脫附、結構相變、化學反應6、譜學特性測量:掃描隧道
掃描探針顯微鏡的微放電
? ? ? 掃描探針顯微鏡通常用來對微納米尺度樣品的表面結構與性質進行表征,對形貌表征具有極高的空間分辨率,通過處理和分析微探針與樣品之間的各種相互作用力,可以精確研究樣品局部的電學、力學性質。微放電是一種將放電限制在有限空間內的氣體放電,在大氣壓下當電極尺寸縮小到一定程度時,空氣放電機理與長間隙空